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1 .4.6 1 .4.6 1 .4.6 1 .4.6 1 .4.6 ミニチュアストロークベアリングの分解、 ミニチュアストロークベアリングの分解、 ミニチュアストロークベアリングの分解、 ミニチュアストロークベアリングの分解、 ミニチュアストロークベアリングの分解、 清掃および給油 清掃および給油 清掃および給油 清掃および給油 清掃および給油 ミニチュアストロークベアリングの分解、 清掃および給油には、 高 度な技術を要しますので、…
1.4 メンテナンス方法
Fig. 4A68-2
オイルは下側のヘッド固定ボルトから伝ってきますので、前図を参考
に綿棒などで拭き取ってくだい。
下図のように拡散板の裏面も清掃してください。
Fig. 4A68-3
(4) 次にグリスを拭き取るヘッドに切り替え、上記作業を繰り返し、
全ての拡散板からグリスを拭き取ります。
ヘッドの切り替え方法については、“1.4.4 吸着ノズルの取外し
および取付け”を参照してください。
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0509-001 1-56-1 AHM01JTRP
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ミニチュアストロークベアリングの分解、ミニチュアストロークベアリングの分解、
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清掃および給油清掃および給油
清掃および給油清掃および給油
清掃および給油
ミニチュアストロークベアリングの分解、清掃および給油には、高
度な技術を要しますので、当社サービス部門にご相談ください。
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点検、点検、
点検、点検、
点検、
清掃清掃
清掃清掃
清掃
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給油時期給油時期
給油時期給油時期
給油時期
1 か月ごとに点検してください。
シャフト摺動部にゴミが付着し、動きが悪くなったとき , または、
シャフト部の空部にゴミがたまり、真空吸引が低下したときには、
清掃と給油が必要になります。
なお、6か月ごとにミニチュアストロークベアリングの清掃をしてく
ださい。
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ミニチュアストロークベアリングの分解ミニチュアストロークベアリングの分解
ミニチュアストロークベアリングの分解ミニチュアストロークベアリングの分解
ミニチュアストロークベアリングの分解
分解手順
(1) 全ノズルを L レベルに切り替えます。
ノズルレベルの切り替えについては、
2編：操 作（スーパーバイザ）“6節 4.2.2 “手
動動作”タブ”を参照してください。
(2) XY テーブルを退避させます。
XY テーブルの退避については、2 編：操作
（スーパーバイザ）“6 節 4.2.1 “ノズル清
掃”タブ”を参照してください。
(3) 装置の電源とエア源を切り、装置内のエア
を抜いてください。
(4) ヘッド Assy を外します。
(4-1) ヘッドを固定しているM4L12(上部)2本お
よび M4L16(下部)2 本を緩めて外します。
(4-2) エアホースを抜きます。
(4-3) ヘッドを手前に引き、外します。
0509-003 1-57
AHM01JTRP
1.4 メンテナンス方法
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Fig.4A69
(5) 拡散板を固定している止めネジ 3 本を 2 mm
のビット(標準付属品: 630 116 3673)で緩
め、ヘッドから拡散板を取外します。
(6) 固定ボルトを緩めて外し、ミニチュアスト
ロークベアリング(MSB)固定プレートを外し
ます。
1.4 メンテナンス方法
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Fig.4A71 ヘッド下方より
Fig.4A70
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ヘッド原点検出用磁石にレンチなど
を当てると減磁しますので、触れな
いように注意してください。
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