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(5) 拡散板を固定している止めネジ 3 本を 2 mm のビット ( 標準付属品 : 630 11 6 3673) で緩 め、ヘッドから拡散板を取外します。 (6) 固定ボルトを緩めて外し、ミニチュアスト ロークベアリング (MSB) 固定プレートを外し ます。 1 .4 メンテナンス方法 041 1-002 1 - 58 AHM01JTRP Fig.4A7 1 ヘッド下方より Fig.4A70 ࡠ࠲࠲࠶࠻ ✦ઃᴦౕ ࡒ࠾࠴ࡘ…
1.4.6 1.4.6
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ミニチュアストロークベアリングの分解、ミニチュアストロークベアリングの分解、
ミニチュアストロークベアリングの分解、ミニチュアストロークベアリングの分解、
ミニチュアストロークベアリングの分解、
清掃および給油清掃および給油
清掃および給油清掃および給油
清掃および給油
ミニチュアストロークベアリングの分解、清掃および給油には、高
度な技術を要しますので、当社サービス部門にご相談ください。
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点検、点検、
点検、点検、
点検、
清掃清掃
清掃清掃
清掃
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給油時期給油時期
給油時期給油時期
給油時期
1 か月ごとに点検してください。
シャフト摺動部にゴミが付着し、動きが悪くなったとき , または、
シャフト部の空部にゴミがたまり、真空吸引が低下したときには、
清掃と給油が必要になります。
なお、6か月ごとにミニチュアストロークベアリングの清掃をしてく
ださい。
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ミニチュアストロークベアリングの分解ミニチュアストロークベアリングの分解
ミニチュアストロークベアリングの分解ミニチュアストロークベアリングの分解
ミニチュアストロークベアリングの分解
分解手順
(1) 全ノズルを L レベルに切り替えます。
ノズルレベルの切り替えについては、
2編：操 作（スーパーバイザ）“6節 4.2.2 “手
動動作”タブ”を参照してください。
(2) XY テーブルを退避させます。
XY テーブルの退避については、2 編：操作
（スーパーバイザ）“6 節 4.2.1 “ノズル清
掃”タブ”を参照してください。
(3) 装置の電源とエア源を切り、装置内のエア
を抜いてください。
(4) ヘッド Assy を外します。
(4-1) ヘッドを固定しているM4L12(上部)2本お
よび M4L16(下部)2 本を緩めて外します。
(4-2) エアホースを抜きます。
(4-3) ヘッドを手前に引き、外します。
0509-003 1-57
AHM01JTRP
1.4 メンテナンス方法
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Fig.4A69
(5) 拡散板を固定している止めネジ 3 本を 2 mm
のビット(標準付属品: 630 116 3673)で緩
め、ヘッドから拡散板を取外します。
(6) 固定ボルトを緩めて外し、ミニチュアスト
ロークベアリング(MSB)固定プレートを外し
ます。
1.4 メンテナンス方法
0411-002 1-58 AHM01JTRP
Fig.4A71 ヘッド下方より
Fig.4A70
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ヘッド原点検出用磁石にレンチなど
を当てると減磁しますので、触れな
いように注意してください。
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(7) ホルダを押さえながら、ヘッド上部の止め
ネジ 2 本を 1.5 mm のビット(標準付属品:
630 116 3659)で十分に緩め、ヘッドからホ
ルダを外します。
(a) 止めネジ 2 本を緩めると、ホルダが
上に飛び出るので、気をつけてくだ
さい。
(b) ネジ穴を壊さないために、対角寸法
の大きな 6 角レンチ(TONE,BONDUS)
などを使用してください。
(8) MSB を外します。
(8-1) MSB シャフトおよび MSB 外筒を取外しま
す。
MSB シャフトは上方から抜き取り、MSB外
筒はピンセットなどを使って下方から引
き抜きます。
MSBシャフトとMSB外筒の組み合わせが
変わらないようにしてください。
MSBシャフトとMSB外筒の組み合わせが
変わると動作がスムースに行われなく
なったり、ガタつきの恐れがあります。
(9) MSB外筒から上シール、カラー、下
シールを取外します。
上シール、下シールにキズや変形があ
る場合、または異物が付着している場
合、新しいシール(630 048 0849)と交
換してください。
1.4 メンテナンス方法
0304-001 1-59 AHM01JTRP
Fig.4A73
Fig.4A72
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Fig.4A74