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異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 430f0 1 吸着ミス検出 吸着ミス部品を検出しました。フィーダユニットを動作さ せる前に部品を取り除いてください。 ( 要因 1 ) テープフィーダのテープ搬送面とサプレッサの間に部品を挟み込んでいる状態 ( 部品 が立ってしまう ) であります。 ( 復帰方法 1 )[ 復帰 ] ボタンを押す…

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異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説　明説　明
説　明説　明
説　明
430a03 オイルクーラー オイルクーラー運転不可状態です。
オイルクーラー圧力スイッチのリセット、コントロール
ボックス内ブレーカ、供給電源を確認してください。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
430b01冷却FAN　　　　　　　 冷却 FAN アラーム信号が検出されました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
430c01 吸着位置追従機能 吸着追従値が許容範囲を超えました。
フィーダを確認してください。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
430d01 大型部品吸着ミス 吸着ミス部品との干渉を防ぐためフィーダユニットを停止
しました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
430e01 エアシリンダ カム拘束シリンダの圧力低下が検出されました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 供給エア圧を確認し、全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-003 2-104 AHM01JTRP
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説　明説　明
説　明説　明
説　明
430f01 吸着ミス検出 吸着ミス部品を検出しました。フィーダユニットを動作さ
せる前に部品を取り除いてください。
(要因 1) テープフィーダのテープ搬送面とサプレッサの間に部品を挟み込んでいる状態(部品
が立ってしまう)であります。
(復帰方法 1)[復帰]ボタンを押すと以下の“フィーダ装着異常解除操作”画面が表示されま
す。
この画面および以下の操作手順に従って復帰してください。
Fig. 4B21
(1) 吸着ミス除去作業が必要なテープフィーダのあるフィーダキャリッジ (作業対
象フィーダ) [F1]、[F2]、[F3]、[F4]と移動方向を選択し、[ENABLE] ボタンを押
して作業可能な位置まで移動します。
(2) [非常停止] スイッチを押します。
(3) フィーダ作業エリア安全扉（部品補給部）を開け、対象フィーダを確認しま
す｡
• 対象フィーダの吸着ミス部品を取り除いてください。
[F4]で吸着ミスが起きた場合は、フィーダ作業エリア安全扉へ移動で
きません。
中央安全扉(フィーダキャリッジカバー)を開け、対象フィーダを確認
します。
(次のページへつづく)
3.3 異常ID と復帰方法
0509-002 2-104-1 AHM01JTRP
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異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説　明説　明
説　明説　明
説　明
(4) 中央安全扉 (フィーダキャリッジカバー) を開け、吸着ミス確認プレートを検
出可能な元の位置へ戻します。
• 吸着ミス確認プレートをテープフィーダのテープ供給方向と平行になる位置
まで戻します。
Fig. 4B21-1
(5) “非常停止”状態を復帰します。
[非常停止] スイッチの復帰方法は、本体取扱説明書 “第 1 編 4 節 3.1 非常
停止スイッチが押された場合” を参照してください。
431001 インバータアラーム検出 インバータアラーム信号が検出されました。
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
(要因 1) 装置への供給電源が、瞬時停電が発生した場合異常停止します。
(復帰方法 1)
(1) 異常画面を復帰し、「シャットダウン処理」を行い、電源ブレーカを OFF しま
す。
(2) 10 秒程度間を空けて、再度電源ブレーカを ON して、装置を起動します。
(3) 原点復帰動作を行い、運転を再開してください。
(異常発生時に基板生産中の場合は、Warm スタート操作にて、基板を仕上げて
ください。)
(復帰方法 2)
「シャットダウン処理」を行い、電源ブレーカの立ち上げ直しをしても、異常が発生
したままで、装置の供給電源周りに問題があり復帰できない場合は、サービスへ連
絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
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0509-001 2-104-2 AHM01JTRP