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(45 認識通信 ) 異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 450 1 0 1 認識通信異常 認識異常コード仕様参照 450 1 02 認識通信異常 認識通信タイムアウト 450 1 03 認識通信異常 GUI 起動失敗 ( 要因 1 ) 装置の自己診断によるメッセージです。 ( 復帰方法 1 ) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開して…
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
440701 ノズル切替え戻し ノズル切替え戻し動作機構またはセンサ (BPH88) に異常が
あります。
440702 ノズル切替え戻し ストッパを ON したのに切り替え動作しました。
440703 ノズル切替え戻し ストッパを OFF したのに切り替え動作しませんでした。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
440801 カッター カッター前進動作に異常があります。（BPH32）
440802 カッター カッター後進動作に異常があります。（BPH33）
(要因 1) センサの光ビームが 1 回も遮光されませんでした。
カッタ刃が閉じきらない場合に発生します。
例：部品を切る動作をしたため刃が痛んだ。
(復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、カッタ刃の点検をしてください。
• 点検をして必要なときは、カッタ刃を交換してください。
• カッタ部のカッタ前進確認センサ(BPH32)、カッタ戻り確認センサ(BPH33)ON/
OFF 動作を段取作業画面の手動動作でセンサの状態を確認してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-001 2-107-1 AHM01JTRP
(45 認識通信)
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
450101 認識通信異常 認識異常コード仕様参照
450102 認識通信異常 認識通信タイムアウト
450103 認識通信異常 GUI 起動失敗
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-002 2-108 AHM01JTRP
(46 基板認識)
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
460101 基板認識 基板認識異常発生 1点目
460201 基板認識 基板認識異常発生 2 点目
460301 基板認識 基板認識異常発生 3 点目
460401 基板認識 割基板認識 1点目
460501 基板認識 割基板認識 2 点目
460601 基板認識 割基板認識 3 点目
460701 基板認識 個々基板認識 1点目
460801 基板認識 個々基板認識 2 点目
460901 基板認識 個々基板認識 3 点目
460a01 基板認識 基板認識テスト
460b01 基板認識 基板認識照明教示
460c01 基板認識コマンド 基板認識コマンド応答異常
(要因 1) 、(復帰方法 1)については、“4.3.3 基板認識異常”を参照してください。
460e01 基板認識コマンド(再認識) 再基板認識による基板位置ズレを検出しました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
基板認識再確認結果が指定許可値の範囲外でした。
(復帰方法 1) 専用画面で検出結果を確認してから XY テーブルにおける基板の位置決め状態
を確認してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-003 2-109 AHM01JTRP