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異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 1 3060 1 バックアップピン上下 通信 コントローラが命令実行不可状態。 1 30602 バックアップピン上下 通信 コントローラ内部でエラーが発生しました。 1 30603 バックアップピン上下 通信 コントローラが通信異常を検出しました。 1 30604 バックアップピン上下 通信 返信タ…

(13 バックアップピン上下)
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
130101 バックアップピン上下 原点 励磁モニタ信号が検出できませんでした。
130102 バックアップピン上下 原点 現在値管理が不定でした。
130103 バックアップピン上下 原点 現在位置が原点にありませんでした。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
130201 バックアップピン上下 動作しようとしたときに停止していませんでした。
タイミング
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
130301 バックアップピン上下 データ 目的値が装置の可動範囲を超えました。
(要因 1) 目的値が装置の可動範囲を超えています。
(復帰方法 1) 基板厚が設定値を超えていますので正しく設定してください。
130401 バックアップピン上下 プラス(+)オーバーランを検出しました。(BPH85)遮光(+)
オーバーラン
130402 バックアップピン上下 マイナス(-)オーバーランを検出しました。(BPH86)遮光(-)
オーバーラン
(要因 1) センサに汚れが付着し光ビームが遮光されています。
(要因 2) センサの不良が考えられます。
(復帰方法 1) センサの汚れを拭き取り、再度、バックアップピン上下機構を原点復帰してく
ださい。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
(復帰方法 2) 当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-002 2-86 AHM01JTRP

異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
130601 バックアップピン上下 通信 コントローラが命令実行不可状態。
130602 バックアップピン上下 通信 コントローラ内部でエラーが発生しました。
130603 バックアップピン上下 通信 コントローラが通信異常を検出しました。
130604 バックアップピン上下 通信 返信タイムアウト。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-001 2-86-1 AHM01JTRP

(14 従動ピン)
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
140101 従動ピン 原点 励磁モニタ信号が検出できませんでした。
140102 従動ピン 原点 現在値管理が不定でした。
140103 従動ピン 原点 現在位置が原点にありませんでした。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
140201 従動ピン タイミング 動作しようとしたときに停止していませんでした。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
140301 従動ピン データ 目的値が装置の可動範囲を超えました。
(要因 1) 目的値が装置の可動範囲を超えています。
(復帰方法 1) 従動ピン幅が設定値を超えていますので正しく設定してください。
140401 従動ピン オーバーラン プラス(+)オーバーランを検出しました。(BPH94)遮光(+)
140402 従動ピン オーバーラン マイナス(-)オーバーランを検出しました。(BPH95)遮光(-)
(要因 1) センサに汚れが付着し光ビームが遮光されています。
(要因 2) センサの不良が考えられます。
(復帰方法 1) センサの汚れを拭き取り、再度、バックアップピン上下機構を原点復帰してく
ださい。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
(復帰方法 2) 当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0509-002 2-87 AHM01JTRP