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◆ 改訂履歴 Revision Date 改訂箇所改訂内容備考 00 2010.08 初版 01 2011.02 P1 ～ 7,11 ～ 19,22 ～ 25,2 7 ～ 29,38,40, 45,47 コプラナリティ、部品ベリフィケーション追加改訂 02 2011.07 P2 ～ 7,10,11, 25,28,31 ～ 34 ,37 ～ 39,4 3 ETF 8D 対応改訂 03 2016.0 8 全面書換 RF …

10.

信頼性仕様

10-1. 装置寿命

5 年：但し、消耗部品または、以下の定期交換部品を除きます。

詳細は取扱説明書を参照してください。

・定期交換部品：２～３年を目安に交換が必要となります。（使用状況により交換時期は変動します。）

・ケーブルベア

・ベアケーブル組

・エアチューブ

・オプティカルファイバー（ケーブルべア内）

・1394 ロボットケーブル組

・マグネスケールワイパー

・真空ポンプユニット

・フィルタエレメント

・ガススプリング

・バッテリーユニット

・マウス

・

HOD

・カッターユニット

・電動フィーダ IF ケーブル組

・イオナイザ（電極部）

寿命算定基準： 22 時間／日

300 日／年

22×300×5＝33,000 時間／5 年

◆ 改訂履歴

Revision Date 改訂箇所改訂内容備考

00 2010.08 初版

01 2011.02

P1～7,11～19,22～25,27～

29,38,40,45,47

コプラナリティ、

部

品ベリフィケーション追加

改訂

02 2011.07

P2～7,10,11,25,28,31～34,37

～39,43

ETF8D 対応改訂

03 2016.08

全面書換

RFシリ

ーズ電動式フィーダ対応改訂

04 2017.07

全面書換

Nets対応改訂

05 2018.01

全面書換

Ver8.20A対応

改訂

製造・発売元

お問合せ先

2-11-1, Tsurumaki, Tama-shi, Tokyo 206-8551, JAPAN

PHONE: 81-42-357-2293

http://www.juki.co.jp/

•

製品に関するお問い合わせ先：

〒

206-8551

東京都多摩市鶴牧

2-11-1 TEL

042-357-2289

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技術に関するお問い合わせ先：

〒

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東京都多摩市鶴牧

2-11-1 TEL

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〒

564-0062

大阪府吹田市垂水町

3-17-25 TEL: 06-6380-2626

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階

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2018.01 Printed in Japan