NXT 安装手册.pdf - 第116页

3. 机器的安装 QD023-14 106 NXT 安装手册 信号电缆接线图 (自立 4M 基座 - 增设 4M 基座) 请按照下图,进行各信号电缆的 连接。 真空泵部的导线 ( RH2130*、RH2131* 、RH2133*)请不要穿 入基座内部,在外部 进行配线。 备注 )下图中,粗线的电缆表示基座连接导线 (AJ110**) 。 㧯 㧺㧞㧣 㧭 㧯 㧺㧞㧤 㧭 㧾㧴㧜 㧡㧞㧣 㧖 㧮㧾㧯 㧺㧝 㧾㧴㧜 㧡㧡㧤 㧖  䖲᥹ 㧾…

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QD023-14 3. 机器的安装
NXT 安装手册 105
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106 NXT 安装手册
信号电缆接线图 (自立 4M 基座 - 增设 4M 基座)
请按照下图,进行各信号电缆的连接。
真空泵部的导线 (RH2130*、RH2131*、RH2133*)请不要穿入基座内部,在外部进行配线。
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