NXT 安装手册.pdf - 第95页

QD023-14 3. 机器的安装 NXT 安装手册 85 气源配管的连接 < 在序列号 294 为止的自立 4M 基座旁增设时 >

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3. 机器的安装 QD023-14
84 NXT 安装手册
4M 基座与真空泵 BOX 间的导线 （RH2141*、RH2142*、RH2143*）请不要穿入基座内部，在外
部进行配线。
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QD023-14 3. 机器的安装
NXT 安装手册 85
气源配管的连接
< 在序列号 294 为止的自立 4M 基座旁增设时 >
3. 机器的安装 QD023-14
86 NXT 安装手册
< 在序列号 295 以后的自立 4M 基座旁增设时 >
基座的连接
完成信号电缆的连接及气源管的配管后，用专用支架连接相邻基座。请参照 " 3.3.3 基座
的连接 "。
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