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3. 机器的安装 QD023-14 84 NXT 安装手册 4M 基座与真空泵 BOX 间 的导线 （R H2141*、 R H2142*、 RH21 43*） 请不要 穿入基座内部， 在外 部进行配线。 㧹 㧝㧠㧝 㧭 㧹 㧝㧠㧝 㧹㧿 㧟 㧯 㧺㧟 㧹㧿 㧟 㧯 㧺㧝 㧾㧴 㧞㧝㧠㧟 㧖 㧾㧴 㧞㧝㧠㧝 㧖 㧾㧴 㧞㧝㧠㧞 㧖 㧹㧿 㧝 㧯 㧺㧟 㧹㧿 㧝 㧯 㧺㧝 㧮㧯㧮㧯 㧺㧝㧤 㧯 㧺㧢 1;76(76E 㞾ゟ0 ᑻ…
QD023-14 3. 机器的安装
NXT 安装手册 83
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3. 机器的安装 QD023-14
84 NXT 安装手册
4M 基座与真空泵 BOX 间的导线 （RH2141*、RH2142*、RH2143*）请不要穿入基座内部，在外
部进行配线。
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QD023-14 3. 机器的安装
NXT 安装手册 85
气源配管的连接
< 在序列号 294 为止的自立 4M 基座旁增设时 >