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QD023-14 3. 机器的安装 NXT 安装手册 69 信号电缆接线图 （真空泵 BOX - 自立控制盘 - 2M 基座 - 2M 基座 - 2M 基 座 - 2M 基座） 请按照下图，进行各信号电缆的 连接。 图中号码 接线图 1 请 按 照" 3 . 7 . 3 连 接2台2 M基 座 "的 该 标 记 页中记载的接线图，将第 1 台 2M 基座与自立控 制盘连接。 2 请 按 照" 3 . 7 .…
3. 机器的安装 QD023-14
68 NXT 安装手册
基座 JP1 SW1 SW2 SW4 SW5 SW6
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QD023-14 3. 机器的安装
NXT 安装手册 69
信号电缆接线图 （真空泵 BOX - 自立控制盘 - 2M 基座 - 2M 基座 - 2M 基
座 - 2M 基座）
请按照下图，进行各信号电缆的连接。
图中号码 接线图
1 请按照" 3.7.3 连接2台2M基座 "的该标记
页中记载的接线图，将第 1 台 2M 基座与自立控
制盘连接。
2 请按照" 3.7.3 连接2台2M基座 "的该标记
页中记载的接线图，将第 1 台 2M 基座与自立控
制盘连接。
3 请按照" 3.7.3 连接2台2M基座 "的该标记
页中记载的接线图，连接第 2 台及第 3 台的 2M
基座。
4 请按照该项的接线图，连接自立控制盘与真空泵 BOX。真空泵
的导线 （RH2141*、RH2142*、RH2143*）请不要穿入基座内
部，在外部进行配线。
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