NXT 安装手册.pdf - 第123页

QD023-14 3. 机器的安装 NXT 安装手册 113 㧾㧴 㧝㧝㧣 㧜㧖 㧯 㧺㧞㧣 㧭 㧯 㧺㧞㧤 㧭 㧾㧴㧜 㧣㧝㧡 㧖 㧾㧴㧜 㧡㧞㧤 㧖 㧮㧾㧯 㧺㧝 㧾㧴 㧝㧝㧤㧣 㧖 㧮㧾㧯 㧺㧞 㧮㧾㧯 㧺㧞 㧾㧴 㧝㧝㧤㧤 㧖 㧾㧴㧜 㧞㧡㧤 㧖 㧮㧾㧯 㧺㧟 㧮㧾㧯 㧺㧟 㧮㧾㧯 㧺㧟 㧮㧾㧯 㧺㧟 㧾㧴㧜 㧡㧤㧟 㧖 㧾㧴㧜㧥 㧣㧝 㧖 㧾㧴 㧝㧞㧤 㧜㧖 㧯 㧺 㧙㧹 㧝 㧯 㧺 㧙㧹 㧞 㧯 㧺 㧙㧹 㧝 㧯 㧺 㧙㧹 …

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3. 机器的安装 QD023-14
112 NXT 安装手册
信号电缆的连接 (增设 4M 基座 - 自立 4M 基座)
请按照下图,进行各信号电缆的连接。
真空泵部的导线 RH2130*、RH2131*、RH2133*)请不要穿入基座内部,在外部进行配线。
备注 )下图中,粗线的电缆表示基座连接导线 (AJ456**)
QD023-14 3. 机器的安装
NXT 安装手册 113
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3. 机器的安装 QD023-14
114 NXT 安装手册
气源配管的连接
<在序列号到 294 为止的自立 4M 基座旁增设时>
<在序列号为 295 以后的自立 4M 基座旁增设时>
基座的连接
完成信号电缆的连接及气源管的配管后,用专用支架连接相邻基座。请参照 " 3.3.3 基座
的连接 "。