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SET-NXT3-006S1 3. 机器的安装 NXT III 安装手册 41 3.3 调整水平和基座的固定 请使用水平仪进行调整， 在保持基座的水平度的同时， 使模组搬运轨道的高度和电路 板的搬 运高度相一致。 3.3.1 调整水平方法 1. 拉出模组，在机器后部的测定位置 （研磨面） 的 XY 方向上设置水平仪。 警告 可同时拉出一半的模组数量是 有限的。 （4M-3 基座上最多可拉 出 2 台 M3-3 模组，2M-3 基座上最多…
3. 机器的安装 SET-NXT3-006S1
40 NXT III 安装手册
1. 请打开保护盖罩的合缝，将其拆除。
2. 请将 XY 机械手稍稍向后移动后，拆除前后的保护卷。
3. 请保管拆除的盖罩和保护卷。在维修保养和移动时需要。
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01SET-0386
SET-NXT3-006S1 3. 机器的安装
NXT III 安装手册 41
3.3 调整水平和基座的固定
请使用水平仪进行调整，在保持基座的水平度的同时，使模组搬运轨道的高度和电路板的搬
运高度相一致。
3.3.1 调整水平方法
1. 拉出模组，在机器后部的测定位置 （研磨面）的 XY 方向上设置水平仪。
警告
可同时拉出一半的模组数量是有限的。（4M-3 基座上最多可拉出 2 台 M3-3 模组，2M-3
基座上最多可拉出 1 台 M3-3 模组）
若拉出的模组数量超过限制台数，整个机器会前倾，有可能会撞伤操作人员。（尤其是
在正面水平调整螺栓还未调整时）
＜4M-3
基准
＞
水平仪水平仪
01SET-0126Sa
＜2M-3
基准
＞
水平仪
模组 模组 模组
3. 机器的安装 SET-NXT3-006S1
42 NXT III 安装手册
2. 松开下图中水平调整螺栓的固定螺母。转动水平调整螺栓，使模组搬运轨道的高度和电
路板的搬运高度相一致。请一边进行各个测定处水平仪上的水平度确认，一边进行作
业。
3. 然后，松开基座前侧水平调整螺栓的固定螺母。旋转前侧水平调整螺栓的下端到碰到地
面位置进行调整。
注意 )不要使在前侧水平调整螺栓上受到的机器重量太大，以免影响到基座的水平度。该前
侧螺栓为将模组拉出时支撑基座的辅助性部件。
4. 确保电路板搬运高度、机器水平度都正确后，请拧紧各锁定螺母。拧紧锁定螺母可能会
导致水平度发生改变。因此拧紧后请再次确认机器的水平度。
注意 )锁定螺母必须拧紧。否则机器可能会产生震动，影响贴装精确度。
01SET-0127Sa
＜4M-3基座前侧＞＜2M-3基座前侧＞
水平调整螺栓
锁定螺母
水平调整螺栓
水平调整螺栓
01SET-0128Sa
调整水平螺栓
（
基座前側）
调整水平螺栓
（基座前側）
锁定螺母
调整水平螺栓
（
基座前側）
＜2M-3基座＞＜4M-3基座＞