_FX-3R_机器控制参数.pdf - 第39页
Rev 4 .0 机器控制参数 2-3-4 HM S 夹紧 2-3-4-1 设定项目 No. 项目 输入范围 单位 备考 最小值 最大值 1 HMS 夹紧阈值 4100000 7500000 0.1 µ m 2 OCC 可动范围 4100000 7500000 0.1 µ m 3 BAD 标记传感器可动范围 4100000 75000 00 0.1 µ m 2- 32
Rev4.0
机器控制参数
2-3-3-1 设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 AWC马达种类 0 1
2 脉冲移动量 (0.1µm/pulse)
0.1µm/
pulse
初期值: 10000
(10µm)
3
AWC马达
(驱动属性)
动作区分 0 9
4 加速度 (G) G
5 减速度 (G) G
6 最高速度 (pulse/sec) pulse/sec
7 反冲击率 (%) %
8 定位精度
2-3-3-2 AWC马达种类 2-3-3-3 驱动属性 - 动作区分
No.
内容
0 左AWC
1 右AWC
No.
内容
0 PTP动作
1 OG基础属性
2 单步
3 返回原点 (查找HOME)
4 返回原点 (查找Z相)
5 预备
6 预备
7 预备
8 预备
9 预备
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Rev4.0
机器控制参数
2-3-4 HMS夹紧
2-3-4-1 设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 HMS夹紧阈值 4100000 7500000 0.1µm
2 OCC可动范围 4100000 7500000 0.1µm
3 BAD标记传感器可动范围 4100000 7500000 0.1
µ
m
2-32
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机器控制参数
2-4 图像
2-4-1 OCC照明模式
2-33