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Rev 4 .0 机器控制参数 2-5- 16 示教步骤控制 接近界限时的 [ 低速（脉冲） ] 、 [ 高 速（脉冲） ] 、 [ 低速→高速转换时间 ] 仅 XY 轴使用 2-5-16-1 设定项目 No. 项目 输入范围 单位 备考 最小值 最大值 1 移动类型 XY 移动 Z 移动 θ 移动 支撑台移动 AWC 移动 2 低速 ( 脉冲 ) 单步移动 3 低速 JOG 移动 4 中速 JOG 移动 5 高速 JOG 移动 6 接…
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机器控制参数
2-5-15 校准标记识别信息
2-5-15-1 设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 校准台标记直径 0.1µm
2 共通标记直径 0.1µm
3
共通标记识别
结果界限
返回原点时识别结果界限 0.1µm
4 生产时识别结果界限 0.1µm
5
生产时校准台
识别触发器
生产暂停时间 (单位: 1秒) 1s
6
X轴总移动距离
(单位: 1mm)
1mm
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Rev4.0
机器控制参数
2-5-16 示教步骤控制
接近界限时的[低速（脉冲）]、[高速（脉冲）]、[低速→高速转换时间]仅XY轴使用
2-5-16-1 设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 移动类型
XY移动
Z移动
θ移动
支撑台移动
AWC移动
2
低速 (脉冲)
单步移动
3 低速JOG移动
4 中速JOG移动
5 高速JOG移动
6 接近界限时
7
高速 (脉冲)
单步移动
8 低速JOG移动
9 中速JOG移动
10 高速JOG移动
11 接近界限时
12
低速→高速转换
时间
单步移动
13 低速JOG移动
14 中速JOG移动
15 高速JOG移动
16 接近界限时
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Rev4.0
机器控制参数
2-5-17 送料器送料信息
2-5-17-1 设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 索引 0 49 参照 2-5-17-2 索引
2
送料器送料信息
使用气缸数
3 卷带送料次数
4 开启停顿时间
5 关闭停顿时间
6 吸取姿勢保持时间
7 定位气缸往上顶 不使用
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