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NPM- TT2 EJM1EC-MB-02 O-04 2-5-7 -5 操作篇 2-5-7 个别 准备 支撑销 ( 自动更换用 ) 的安装 3 ●基板支撑块下降。 17 ACTIVATION ●然后，确认在基准位置实际配 置的支撑销数量和设备内保持 的支撑销数量。 支撑销 ( 自动更换用 ) 的安装 3
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安装基板支撑块(自动更换用)时，注意请勿倾斜安装
(可能与轨道有干扰)
●设置支撑销时，注意请勿碰撞到轨道等。
●设置好基板支撑块后，将支撑销安装到螺栓侧，并确
认支撑销紧靠螺栓。
12 11
取下棉纱布
13
ACTIVATION
安装托盘供料器
或者交换台车
●托盘供料器时
(→『维修保养篇』
P.14-8)
●交换台车时
(→『维修保养篇』
P.3-2
15 16
14
SERVO
ON
●只限交换台车时
●只限交换台车时
●只限交换台车时
顺序
17
把供料器工作台盖
拉回原处
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2-5-7-5
操作篇
2-5-7
个别
准备
支撑销(自动更换用)的安装 3
●基板支撑块下降。
17
ACTIVATION
●然后，确认在基准位置实际配
置的支撑销数量和设备内保持
的支撑销数量。
支撑销(自动更换用)的安装 3
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确认支撑销的数量
1
+
（XY单元退避，成为可以增减支撑销的
状态）
*当为双轨模式时，请在需要注册销的
轨道上切换轨道显示图标。（→P2-
2-1-
2 轨道显示）
3
3
+
■设备内配置的支撑销的数量和登录的支
撑销使用数量不同时
●重新登录或者设置，使两者数量相同。
(确认支撑销的数量和位置，信息被更新)
4
4
输入设备内的支撑销数量
2
1
2