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NPM- TT2 EJM1EC-MB-06O-0 4 6-1-9 -5

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6-1-9-4
●基板尺寸: M尺寸 (双轨模式)
●基板尺寸: M尺寸 (单轨模式)
504
21
6
轨道2
轨道1
基板外形
不可配置支撑销的范围
基板外形
基板流向
可配置范围
基准
基准
21
2121
504
21
6
基板流向
基板外形
不可配置支撑销的范围
可配置支撑销的范围
基准
21
238.5
257.5

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