N7201A652C.pdf - 第236页
NPM- TT2 EJM1EC-MB-03 O-02 3-2-12 -3 生产信息 基板弯曲检测错误 2 6 操作篇 3-2-12 ( 将删除错误发生位置的基板信息 ) 7 ( 返回到生产准备动作画面 ) 8 + ● 完成了基板抽取作业。 ( 开始生产 ) 6 7 8
NPM-TT2 EJM1EC-MB-03O-02
3-2-12-2
3
从设备上抽出发生错误的基板
4
确认已抽出后
+
(将会开始生产)
5
发生基板位置错误后
■托盘供料器规格时
请使用作业台(由客户准备)抽出基板。
■交换台车规格时
请取下交换台车后，抽出基板。
(→“维护篇”的P.3-2)
5
NPM-TT2 EJM1EC-MB-03O-02
3-2-12-3
生产信息
基板弯曲检测错误 2
6
操作篇
3-2-12
(将删除错误发生位置的基板信息)
7
(返回到生产准备动作画面)
8
+
●完成了基板抽取作业。
(开始生产)
6
7
8
NPM-TT2 EJM1EC-MB-03O-02
3-2-12-4
③变更基板弯曲倾斜容许值
④ 基板弯曲计测示教
变更动作参数“基板弯曲倾斜容许值”的设定
实施示教
动作参数
基板弯曲