RX-7R_使用说明书.pdf - 第276页
第 4 章 操作篇 4- 9. 手动控制 183 4 4-9- 4 . 传送控制 触摸 [ 手动 控制 ] 菜单的 [ 传送 控制 ] ，显示 [ 传送 控制 ] 画面。 [ 传送 控制 ] 画面仅在用户级别 为 [MAINTENAN CE （ 维护 ） ] 时，才会显示。 双通道传送规格 装置 的画面 单通道传送规格 装置 的画面 记号 名称 说明 (a) 基板有无确认 执行传送通道上 的基板有无确 认。 与 [ 传送单元图 …
第 4 章 操作篇
4-9. 手动控制
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确认供料器・台架的版本信息
触摸[版本信息表示]按钮后，将显示[供料器・台架的版本信息]对话框，用于确认台架及台架上已安
装的供料器版本信息。
记号
名称
说明
(a) 供料器信息列表 显示台架上已安装的供料器版本信息。
•
#：显示供料器的供给位置号
•
种类：显示供料器的种类
•
基板：显示供料器基板的参数版本
•
固件：显示供料器基板固件的当前版本
•
识别基板数据：显示供料器基板的基板识别 ID
•
序号：显示供料器基板的个别序列号
•
接头传感器：显示接头传感器的有无，设置处于故障时的状态。
如设置为[在故障]，则不进行利用接头传感器的搭接动作。
无法取得各种信息时，将显示“***”。
(b) 送料器台架信息列表 显示台架的版本信息。
•
种类：显示台架的种类
•
基板：显示台架基板的参数版本
•
固件：显示台架基板固件的当前版本
•
识别基板数据：显示台架基板的基板识别 ID
•
序号：显示台架基板的个别序列号
无法取得各种信息时，将显示“***”。
(c) 再取得 重新取得台架及供料器的版本信息，更新画面。
(d) 关闭 关闭[供料器・台架的版本信息] 对话框。
注意
为了使用本功能，ETF 供料器的固件版本需要为 Rev.26 以上，且已正确设定序列号。台架需
要已装配 Rev.1 以上的固件。
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4-9-4. 传送控制
触摸[手动控制]菜单的[传送控制]，显示[传送控制]画面。
[传送控制]画面仅在用户级别为[MAINTENANCE（维护）]时，才会显示。
双通道传送规格装置的画面
单通道传送规格装置的画面
记号
名称
说明
(a) 基板有无确认 执行传送通道上的基板有无确认。
与[传送单元图像]的选择无关，对所有站点的基板有无进行确认。
(b) 基板通过传感器
自动校准（示教）
当基板通过传感器的误动作发生传送驱动错误时，进行基板通过传感
器的自动调整。
（注意）请务必确认装置内的传送上没有基板或传感器的遮蔽物后，
再进行操作。
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记号
名称
说明
(c) 传送原点回复 传送原点发生错误时，要通过传送的原点回复动作取得正确的传送宽
度。
与[传送单元图像]的选择无关，对所有站点的原点位置进行测定。
(d) 传送单元
图像
显示本机内的传送状态及基板的位置。
使用橙色覆盖对操作对象站点进行选择。
(e) 搬入 基板从上游装置搬入。
(f) 交付 基板从上游站点交付到下游站点。
(g) 重夹 在对象站点内进行基板的重新定位动作，重夹基板。
(h) 搬出 针对在[传送单元图像]中选择的站点，将基板向下游装置搬出。
(i) 至左 针对在 [传送单元图像]中选择的站点，使传送旋转，将基板向左方
向移动。
要停止旋转时，触摸[停止]按钮。
(j) 停止 针对在 [传送单元图像]中选择的站点，使传送的旋转动作停止。
(k) 至右 针对在 [传送单元图像]中选择的站点，使传送旋转，将基板向右方
向移动。
要停止旋转时，触摸[停止]按钮。
(l) 装置内作业开始 操作人员要将手伸入装置内进行作业时，触摸此项。
将左右的一次性更换台车下降，解除安全盖（罩）的锁定。
(m) 装置内作业完成 在装置内的作业完成后，触摸此项，将左右的一次性更换台车上升，
锁定安全盖（罩）。
(n) 部分操作 对于在[传送单元图像]中选择的站点，使夹板或支撑台个别动作，确
认是否正常动作。
[夹板]：进行基板夹板的上升／下降操作。
[支撑台]：进行支撑台上升／下降的操作。
［基板停止器］：进行基板停止器（选购项）的上升／下降的操作。
［回转传送］：进行传送带的转动操作。
(o) 状态
夹紧及支撑台的 I/O 状态， High (1)用（ ）显示，Low (0)用
（ ）显示。
(p) 夹板 对于在[传送单元图像]中选择的站点，使夹板上升，进行基板的夹紧
动作。
(q) 解除 对于在[传送单元图像]中选择的站点，使夹板下降，进行基板的夹紧
解除。
(r) 上升（支撑台） 对于在[传送单元图像]中选择的站点，将支撑台从原点位置上升到
25mm 的高度。
(s) 下降（支撑台） 对于在[传送单元图像]中选择的站点，将支撑台移动到下端位置。
(t) 上升（基板停止器） 对于在[传送单元图像]中选择的站点，将基板停止器（选购项）上升
到基板停止位置。
(u) 下降（基板停止器） 对于在[传送单元图像]中选择的站点，将基板停止器（选购项）下降
到基板通过位置。