RX-7R_使用说明书.pdf - 第281页
第 4 章 操作篇 4- 9. 手动控制 188 [ 基板停止位置调整 ] 对话框 触摸 [ 传送控制 ] 画面的 [ 基板 停止位置调整 ] ，即会显示 [ 基板停止位置 调整 ] 对话框， 用于使用生产 对 象基板自动示教 ，实施各站点 的基板传送测 试，使基板 停止位置停止在 正确的目标位 置。 记号 名称 说明 (a) 通道选择 选择要进行基板 的停止位置 调整 的 对象 站点 。 对象单元在共通 面板 中选择 。 (b) …
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基准轨道位置的示教操作
对传送的后通道基准轨道位置进行调整，更新机器数据。对后通道的基准轨道位置进行示教后，可在[安
排：调整传送宽度]对话框中操作[自动宽度调整]时，将后通道的基准位置变更为指定的位置。
1 触摸[传送控制]画面的[传送位置调整]。
显示[传送位置调整]对话框。
2 在[微调动作移动速度]中，从[低速]、[中速]、[高速]选择传送的宽度方向微调动作操作的
速度。
3 如果在基准轨道的目标位置上，存在其他的轨道，要使用前后通道的通道宽度微调动作操作按
钮，移动到不干扰的位置上。
4 使用基准轨道位置的微调动作操作按钮，将基准轨道位置调整到目标位置。
5 触摸[储存之基准轨道的位置]，更新机器数据。
Tips
如果不触摸[储存之基准轨道的位置]即关闭对话框时，在[安排：调整传送宽度]对话框中操作
[自动宽度调整]时，基准轨道的位置会回到示教前的位置。
6 触摸[关闭]。
返回[传送控制]画面。
注意
在[机器设置]菜单的[装置设定]画面中，对传送的基准轨道进行变更后，必须在[传送位置调
整]对话框中调整基准轨道的位置，操作[储存之基准轨道位置]，对机器数据进行更新。
要变更基准轨道时，必须进行传送轨道的基准轨道位置的变更工事。如果尚未进行实际的轨道
位置变更工事，则不能在本画面中正确进行后通道的通道宽度微调动作操作。
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[基板停止位置调整]对话框
触摸 [传送控制]画面的[基板停止位置调整]，即会显示[基板停止位置调整]对话框，用于使用生产对
象基板自动示教，实施各站点的基板传送测试，使基板停止位置停止在正确的目标位置。
记号
名称
说明
(a) 通道选择 选择要进行基板的停止位置调整的对象站点。
对象单元在共通面板中选择。
(b) 生产程序信息 如果生产程序尚未设置，要向调整用的治具基板进行生产程序切换时，可触
摸[生产程序切换]。
如果生产程序已设置，使用该对象生产基板进行调整时，无需进行本操作。
(c) 微调 通过对于对象通道传送宽度微调操作进行微调整，通道会以低速动作。
(d) 执行调整 将基板安放在对象站点上之后，触摸此项，即反复进行基板的传送动作及
BOC/领域标记的识别，自动示教实际停止位置相对于基板的目标停止位置的
偏差值。
调整处理正常完成后，将该数据作为以后基板停止位置的补正值覆盖保存到
机器数据。
(e) 关闭 关闭[基板停止位置调整]对话框。
a
b
d
e
c
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基板停止位置示教操作
如果生产中的基板停止位置与目标位置存在较大偏差，要使用生产对象基板进行示教，使基板的停止位置
停止在正确的目标位置。
1 在[安排]菜单的[支援准备]画面中，进行生产程序的切换。
如果不行生产程序的切换，则无法使用专用的治具基板进行进行调整。
注意
使用的生产程序中，BOC/领域标记的信息必须至少要定义 1 个点。
在前后通道中进行调整时，请按照[前后通道共通]的条件设置生产程序。
2 触摸[传送控制]画面的[基板停止位置调整]。
显示[基板停止位置调整]对话框。
3 在共通面板中选择要进行调整对象的单元，在[通道选择]中选择对象通道。
4 手动将基板放置在装置内对象站点上的任意位置。
5 触摸[执行调整]。
反复进行基板的传送动作与 BOC/领域标记的识别，自动示教基板实际停止位置与目标停止位置的
偏差值。
调整处理正常完成后，将该数据作为以后基板停止位置的补正值覆盖保存到机器数据。
6 卸下装置内对象站点上的基板。
7 如果其他站点也要进行调整，则反复进行 3～6 的操作。
8 触摸[关闭]。
返回到[传送控制]画面。
Tips
通过本操作的基板停止位置调整结果，即使生产程序变更为了其他程序，也会直接继承。如果
因为生产程序的切换，再次发生基板停止位置的偏差，请重新实施调整。