RX-7R_使用说明书.pdf - 第558页
第 4 章 操作篇 4- 17. 机器设置 465 4 4- 17 - 37. 基板停止器单元装 备 有关基板停止器 的设定,请参 照「 4-17-1. 基板 停止器 的设 定 」。

第 4 章 操作篇
4-17. 机器设置
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4-17-36. 元件验证
元件验证功能
选择 ON 时,元件验证功能即设定为有效。
仅「CVS(元件验证)单元」为「有」的单元可选择此项。
按单元设定。
(初始值: OFF)。
启动生产时执行自动对象元件验证
选择 ON 时,生产开始时如果有设定为使用元件验证功能的元件,则自动执行验证检查。
按单元设定。
(初始值: ON)。
无元件暂停后,重新运行时验证元件
选择 ON 时,发生了元件用完错误,实施元件更换后,使生产开始时,
即会自动执行与该元件相关的验证检查。
按单元设定。
(初始值: ON)。
生产中的验证检查间隔(片)
设定为 1 以上数值时,生产中每隔指定片数的基板生产完成,即自动进行验证检查。
如果设定为 0,则不通过生产基板片数进行自动验证检查。
按单元设定。
(数值范围为 0~9999)。(初始值: 0)。

第 4 章 操作篇
4-17. 机器设置
465
4
4-17-37. 基板停止器单元装备
有关基板停止器的设定,请参照「4-17-1. 基板停止器的设定」。

第 4 章 操作篇
4-17. 机器设置
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4-17-38. 基板停止器单元使用
有关基板停止器的设定,请参照「4-17-1. 基板停止器的设定」。