YG12F_Ope_K.pdf - 第116页

3-18 3 3 .7 피 듀 셜 「기 판 , 블 록」, 「로컬 」, 「포 인 트 」등의 피듀 셜 인식 결 과 를 표시합니 다 . 모니터 : 피듀셜 2 8 314 - M 7- 0 0 • 보 정값 X , Y , R 인식 결 과 ,기판데 이터입 력값 과의비 교 를( + ) , ( - ) 로표시 합니 다 . • 보 정값 상승율 보정 값X,Y ,R 을이 용해서계 산한기 판신 장율…

100%1 / 126
3-17
3
3.6 RETRY( 시도 )
거 100 건의 에러 이이 표시됩 .
모니터 : 재시도
28313-M7- 00
3-18
3
3.7
「기 , 블록」, 「로컬」, 「포」등의 피듀셜 인식를 표시합니 .
모니터 : 피듀셜
28314-M7- 00
정값 X, Y, R
인식 ,기판데이터입력값과의비를(+),(-) 로표시합니 .
정값 상승율
보정값X,Y,R 을이용해서계산한기판신장율이표시됩 .
식결과
「성」또는「미완」가표시 .실제로마크인식동작을해서인이성공되 ,「미완료」에서「성」으로변합니
다.
3-19
3
3.8 드마크
「기 , 블록」, 「로컬 등의 배드마크 인식결를 표시합니다 .
모니터 : 배드마크
28315-M7- 00
X, Y
터입 ( 블록옵량고려 ) 을표시합니 .
식결과
실제로마크인식한결과에따라서「OK」또는「NG」판단을합니 .
OK: 배드마크인식에실한경 ,작을하는것을의합니 .
NG: 배드마크인에성공한경 ,작업을하지않는것을의합니다 .