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2-6 2 ■ 데 이 터 관 련 코드 에러 명칭 과 내용 Ea0003 6 흡 착경계값 에러 상태 흡착 압력이기 준치미 달 입니 다 .인식 후 ,부품이낙 하했을가능 성 이있 습니다 . 원인 흡착진공압의설 정불량 ,또는부품이정 확하게흡착되어있 지않습니 다 .부품의흡착위치좌 표및흡착 정 도가 나 쁩 니다 . 대책 부품의흡착상태를안정시켜 ,보 조조정으로흡…
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■ 컨베이어 관련
코드 에러 명칭과 내용
Ea00070
기판반송 에러
상태 컨베이어상에규정수량이상의기판이반입되었습니다 .
원인
기판요구신호를보내지않았음에도불구하고 ,상류측에서기판이반입되었습니다 .또는이상기판을검출했습니
다.
대책
상류측의반출출구센서또는본장비의반입센서위치조정및기판검출센서입구스톱퍼센서를재조정해주십
시오 .
Ea00074
기판고정 에러
상태 기판반송유니트 ,로케이트핀 ,푸쉬업이정상적으로작동되지않습니다 .
원인 센서의위치조정불량 ,또는스피드컨트롤러를너무조여서동작이불안정합니다 .
대책 기판반송유니트의높이관계센서의동작을확인해주십시오 .
Ea00831
인터락 메인스톱퍼 상승
상태 메인스톱퍼가올라가있어서위험합니다 .메인스톱퍼를내려주십시오 .
원인 메인스톱퍼가올라가있어서위험합니다 .
대책 메인스톱퍼를하강시켜주십시오 .
Ea00851
인터락 에러
상태 기판반송기의하강단센서가OFF 입니다 .원인을제거하여주십시오 .
원인 기판반송기가하강상태입니다 .또는센서에러입니다 .
대책 기판반송기의상하동작을확인해주십시오 .
Ea00852
인터락 에러
상태 메인스톱퍼 ,푸쉬업 ,입구스톱퍼중ON 되어있는센서가있습니다 .원인을제거하여주십시오 .
원인 센서불량 ,또는액츄에이터의동작불량입니다 .
대책 메인스톱퍼 ,푸쉬업 ,입구스톱퍼등의동작을확인해주십시오 .
Ea 07 876
명령실행 불능
상태
서보푸쉬업이충분히내려가지않아서 ,이명령을실행할수없습니다 .컨베이어유니트조작과리세트로 ,서보
푸쉬업을하강시킨후 ,다시명령을실행하여주십시오 .
원인 서보푸쉬업이충분히내려가지않아서 ,이명령을실행할수없습니다 .
대책 컨베이어유니트조작과리세트로 ,서보푸쉬업을하강시킨후 ,다시명령을실행하여주십시오 .
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■ 데이터 관련
코드 에러 명칭과 내용
Ea00036
흡착경계값 에러
상태 흡착압력이기준치미달입니다 .인식후 ,부품이낙하했을가능성이있습니다 .
원인
흡착진공압의설정불량 ,또는부품이정확하게흡착되어있지않습니다 .부품의흡착위치좌표및흡착정도가
나쁩니다 .
대책 부품의흡착상태를안정시켜 ,보조조정으로흡착진공압의재조정을해주십시오 .
Ea 0 0267
피듀셜 FINE 수속 에러
상태
Fine 타입인식에있어서 ,보정위치가Fine 수속위치내로집결되지않았습니다 .Fine 수속위치는 ,장비데이터
에정의되어있습니다 .
원인 수속조건이너무엄밀합니다 .
대책 장비데이터에서수속조건을완화시키거나 ,일반피듀셜데이터를사용해주십시오 .
Ea00502
데이터 읽기 에러
상태 데이터읽기에실패했습니다 .
원인 파일에이상이있을가능성이있습니다 .
대책 해당데이터는읽어들일수없습니다 .백업해둔경우에는백업에서재복사해주십시오 .
Ea00503
기판데이터 에러
상태 기판데이터쓰기에실패했습니다 .
원인 디스크에이상이있거나 ,하드디스크의용량이꽉찼습니다 .
대책
우선 ,디스크의상태를확인 .파일수량등을확인하고 ,이상이있으면파일수량을줄이는등의대처를한다음 ,
재실행해주십시오 .
Ea02702
노즐스테이션 MACS 에러
상태
노즐스테이션MACS 의동작중에실패했습니다 .노즐스테이션MACS 에관한장비설정과 ,참조하고있는마크
데이터베이스가다르지않습니까 ?
원인 노즐체인지를실행하려고했을때 ,노즐스테이션MACS 의인식은실행했으나 ,마크의인식에실패했습니다 .
대책 스테이션MACS 의위치를정확하게설정해주십시오 .마크데이터베이스의번호를정확하게설정해주십시오 .
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2
■ 그 외
코드 에러 명칭과 내용
Ea00109
장착동작중 비상정지
상태 부품장착동작중에비상정지처리를실시했습니다 .장착동작이불안정하게되었을가능성이있습니다 .
원인 부품장착동작중에비상정지처리를실시하였습니다 .
대책 해당부위부품이정확하게장착되어있는지트레이스해서확인해주십시오 .
Ea00818
[ 인터락 기판폭 축 안전확인 센서 ]
상태 [ 인터락기판축폭안전확인센서 ] 에서긴급정지기능이작동하고있습니다 .원인을제거하여주십시오 .
원인 [ 기판축폭안전확인센서 ] 에서긴급정지기능이작동하고있습니다 .
대책 기판축폭안전확인센서의상태를확인해주십시오 .
Ea01023
하드디스크 용량부족
상태
하드디스크빈용량이10MB 미만이되었습니다 .이런상태로는데이터의파손등의위험이있습니다 .기판데이
터를플로피디스크에백업한후 ,하드디스크상에서삭제해주십시오 .
원인 기판데이터가너무많습니다 .
대책 불필요한기판데이터를백업해서 ,하드디스크상에서삭제해주십시오 .
Ea 02722
운전시작 확인
상태
탑재를정상종료하지않은기판이실장위치에있습니다 .이대로자동운전을시작하면 ,미실장기판이하류로반
송될가능성이있습니다 .실장위치의기판상태를확인하고 ,실장중일경우에는[ 도중부터운전 ] 명령을실행하
여주십시오 .
원인
탑재를정상종료하지않은기판이실장위치에있습니다 .이대로자동운전을시작하면 ,미실장기판이하류로반
송될가능성이있습니다 .
대책 실장위치의기판상태를확인하고 ,실장도중인경우에는[ 도중부터운전 ] 명령을실행해주십시오 .
Ea028 89
흡착 동작중의 비상정지
상태 흡착동작중에비상정지를하였습니다 .흡착동작이불안정할수있습니다 .부품의흡착상태를확인해주십시오 .
원인 흡착동작중에비상정지처리를실시했습니다 .흡착동작이불안정할가능성이있습니다 .
대책 부품의흡착상태를확인해주십시오 .
E a07871
명령실행 불능
상태 리세트가완료되지않아서 ,명령을실행할수없습니다 .다시한번 ,리세트를실행하여주십시오 .
원인 리세트가완료되지않아서 ,명령을실행할수없습니다 .
대책 리세트를재실행해주십시오 .
Ea01277
X1 축 2 차 리미트 초과
상태
비상정지기능이작동중입니다 .X1 축을안전한곳까지이동시켜주십시오 .비상정지가해제되면점등된적색등
이꺼집니다 .
원인 X1 축2 차리미트오버가발생했습니다 .
대책 X1 축을수동으로안전한곳까지이동시켜주십시오 .
Ea01278
Y1 축 2 차 리미트 초과
상태
비상정지기능이작동중입니다 .Y1 축을안전한곳까지이동시켜주십시오 .비상정지가해제되면점등된적색등
이꺼집니다 .
원인 Y1 축2 차리미트오버가발생했습니다 .
대책 Y1 축2 차리미트오버가발생했습니다 .