CP-65(E)第1調整検査手順書第7版..pdf - 第11页

3. 5 Z 轴 Zero 设定 ① 取下 back up plate 以及 plate 台板，预先将 Z 轴各 OT 用的传感器长孔全部向外侧挪动。 ②取下安装 Rack gear 和 CAM F loor 的 BKT。 这时，确认位置决定 PIN 是否连接着。 ③用千分表架在 Guide rail 上测量轨道的弯曲。 （在 0.20mm 以内） ④除 OT 返回用的 DOG 以外，确认 X 方向的 Stroke 在 34.20mm …

100%1 / 37
3. 3 Y 轴设定
和 X 轴同样方法进行调整。
（但 counter 值+、-符号不需要反过来做。
Y 轴 Servo counter 分解能 0.1mm/puls
3. 4 X 轴、Y 轴 back lash 确认
.0 设定后在 X、Y table 上放千分表确认 X 轴、Y 轴的偏斜量。（容许值 0.010mm 以内，
使用计测机器刻度 0.002mm）
X 轴
Y 轴
10
3. 5 Z 轴 Zero 设定
① 取下 back up plate 以及 plate 台板，预先将 Z 轴各 OT 用的传感器长孔全部向外侧挪动。
②取下安装 Rack gear 和 CAM Floor 的 BKT。 这时，确认位置决定 PIN 是否连接着。
③用千分表架在 Guide rail 上测量轨道的弯曲。（在 0.20mm 以内）
④除 OT 返回用的 DOG 以外，确认 X 方向的 Stroke 在 34.20mm 以上。.
⑤使 Table 升起，Z 轴落下时防止汽缸泄漏。那时，确认在 Z CAM Plate 碰到 Stopper 之前与其它的部品无干
涉。
（拔出 Air 进行调整）
⑥ 选择机器检查软件，在 INCI SEAVO ON +PAGE Z 的 Cursor 一致，启动 Z 轴的 zero 设定，Zero 设定
sensor 在 Scalef 等上遮光，zero 设定完成。
⑦ 在 Y table 上下方向 10mm 的 Stroke 处架上千分表。Table 上下的 Stroke 有 7mm±0.03。确认在最上点
有停留 Point。(确认 CAM floor 与 Taper CAM 有接触)
⑧ 马达上下左 右可以调整，需提前稍微松开固定的螺丝。
⑨ 给马达齿轮，Rack gear 涂油后，table 从+Mechanical stopper 向 Z 轴的 X 方向 Stroke 4mm 返回位置
上固定。安装 Rack Gear。左右移动马达调整高度。（RACK Gear 未装入时，向下降低马达）
⑩ 将千分表架在 Guide Rail 处（Rack Gear 安装部）
⑪ 用手左右移动 Table，确认 Stroke 的 Back lash 在 10mm，在 Guide rail 上架的千分表值在 0.00~0.05mm
按上升马达齿轮上下左右调整.
⑫ 在 INCHING 操作上，使 Z 轴 1000 pulse 上移动、与 zero 设定 dog 一致。（IN SX OIE Z AXIS ZERO）
Servo lock 后，rack 左右 gear 的间隙确认。（0.03mm 以内）
⑬ Mechanical stopper 的 Stroke 确认
按非常停止，用手动 Rack gear 左右的 Stroke end 的位置记录 counter 值。
⑭ OT 传感器调整
+ OT →Servo counter 在 321 以上传感器在 ON 时、调整传感器位置。
- OT →Servo counter-1501 以上传感器在 ON 时、确认传感器位置。
⑮ OT 返回调整
+ 、一并向 X 方向 stroke and 时，shock absorber(OT 返回)按入 3mm，调整 bolt。
⑯ Z 轴 落下防止汽缸调整
Mechanical stopper 时，在汽缸前进 Stroke and3mm 的间隙上调整 Rod.
11
Z 轴 Servo counter 分解能 0.002mm/puls
12
<补充》Z 轴调整的说明
Table 高度 table 从最高点下降到 7mm 以下
Counter 的位置 table 最高处。
ZO 11st 吸嘴吸取往下时，从基板上面下到 0.3mm 的状态，是 Z 轴的 Counter 值。
（IP 系的是 M/C 基板上面 ZO）
吸取时 Z 轴的范围 ZO~(ZO-3000)PULSE
MARK 读取位置从 ZO 下降到 6.0mm 的位置，其它不动。
ZO 的范围 -880 到-1000pulse 之间
Linit pos.Z 的范围 +侧 counter 320 的位置
-侧 Counter -4500 的位置
OT Sensor 位置 从 M/C stopper 脱离 300pulse 程度的位置
在 Linit pos.Z M/C STOPPER 一面有