SM471_Administrators_Guide(Chi_Ver1).pdf - 第361页
12-57 Machine Calibration 7. 自动执行 Calibration 后完成 Calibration 则 如下图显示结果值, 请点 击 < 下个 > 按 钮。 8. 显示 “下一步 , 把校校正工具从 H1 取下 , 点击 [ 下一步 ] 头将向下 移动。 移动完成 , 用手取下工具。 ” 消息。 为了在磁头 1 号的吸嘴支架手 动除去 CN400 吸嘴。 请 点击 < 下个 > 按钮。 9…

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3. 那么, Head Assembly移动到设备指定的位置后,拉下所有Z轴。此时,请手动除
去已帖装的所有吸嘴。
4. 显示”下一步,将标准工具粘贴在头部1。点 击 [下一步]向下移动。移动后,手动
粘贴工具到首部。”消息。在磁头1号的吸嘴支架上手动安装CN400吸嘴后请点
击 <下个> 按钮。
5. 显示”移动到中心位置校正工具。移动,点击[ 下一步]。”
6. 显示”准备标准。对于标准,点击[下一步]” 消息。此时, 点击 <亮度> 按钮,
在”亮度控制”对话框中’SMVision’窗口显示的Calibration Tool 上的Ficucial
Mark明显为止调整照明亮度后点击 < 下个 > 按钮。

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Machine Calibration
7. 自动执行 Calibration后完成 Calibration则如下图显示结果值,请点击 <下个> 按
钮。
8. 显示“下一步, 把校校正工具从 H1 取下 , 点击[ 下一步] 头将向下移动。移动完成
, 用手取下工具。”消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去CN400吸嘴。 请
点击<下个>按钮。
9. 请按照对磁头1的校正方法,同样地从Head 2~ 6执行校正。
10. 对所有磁头正常完成校正次序如下图显示结果值。要在设备中适用校正值请点
击<确定 > 按钮。

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11. <Gantry> 组合框中选择Gantry2后,与Gantry1 相同的方式执行校正。
结果值可在Head Offset对话框中确认。