SM471_Administrators_Guide(Chi_Ver1).pdf - 第367页
12-63 Machine Calibration 11 . 显示” 下一步 , 把校校正工具从 H1 取下 , 点击 [ 下一步 ] 头将向下 移动。 移动后 , 用手取下工具。 ” 消息。 为了在磁头 1 号的吸嘴支 架手动除去 CN400 吸嘴请点击 < 下个 > 按钮。 12. 对所有飞行相 机正常完成校正次序如下图显示 结果值。 要在设备中适用校 正值 请点击 < 确定 > 按钮。 13. 显示” 下一…
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9. 校正是：用飞行相机识别校正 Tool 底面的Fiducial Mark 2 点后，校正 Tool 放到
ANC顶面的校正 Tool 位置，之后识别校正 Tool 上面的边缘Fiducial Mark 2点。
10. 自动执行 Calibration后完成 Calibration则如下图显示结果值，请点击<下个>按
钮。
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Machine Calibration
11. 显示”下一步, 把校校正工具从H1 取下, 点击[ 下一步] 头将向下移动。移动后,
用手取下工具。”消息。为了在磁头1 号的吸嘴支架手动除去CN400吸嘴请点击
<下个> 按钮。
12. 对所有飞行相机正常完成校正次序如下图显示结果值。要在设备中适用校正值
请点击<确定>按钮。
13. 显示”下一步, 把校校正工具从H1取下, 点击[下一步]头将向下移动。移动后,
用手取下工具。”消息。为了在磁头1 号的吸嘴支架手动除去Calibration Tool请
点击 <下个> 按钮。
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备 注 飞行相机的校正基准值为如下
FOV 25 (MEGA)
ScaleX: 22.85~23.81 (μm/pixel)
ScaleY: 22.85~23.81 (μm/pixel)
12.3.10.6. Fly Camera Offset Calibration
校正飞行相机和Head Spindle 中心间的差距。 为校正飞行相机中心和 Head Spindle
中心的 Offset，必须先行Fly Camera Calibration和 Head Z Offset Calibration 应该使用
特制的器具(Calibration Tool)。
使用Head的Reference Fiducail Mark时，同时执行Reference Fiducial Offset 校正。
是否使用Head的Reference Fiducial Mark，在System Setup菜单的Camera对话框中进
行设置。Default 值为’Use’。
下面是 Fly-Camera Offset 的校正步骤。
1. 点击<准备吸嘴>按钮，在ANC1 号孔中插入CN400吸嘴。选择<自动下一步>
校验框后，
2. 点击<11. Fly Camera Offset> 按钮，则对选择的Gantry自动执行校正。选择<没
有实际运动（手动）>校验框后，执行校正会在各Head手动插入吸嘴，并点击 <
下个> 进入下一个阶段。不选<自动下一步> 或<没有实际运动（手动）>中的任
何校验框的状态下执行校正时，虽然对当前被选的Head 自动更换吸嘴，但要点
击< 下个 > 按钮才能执行下一个阶段。点击<11. Fly Camera Offset>
按钮则显示”
首先，我们必须把所有吸嘴手动离开朝向。将Z轴调制低处，点击[ 下一步]”消
息。为了手动除去所有贴装在磁头的吸嘴，拉下磁头的Z 轴请点击< 下个> 按
钮。