SM471_Administrators_Guide(Chi_Ver1).pdf - 第369页
12-65 Machine Calibration 3. 那么 , Head Assembly 移动到设 备指定的位置后， 拉下所有 Z 轴。 此时， 请手动除 去已贴装的所有吸嘴。 4. 显示 “下一步， 将标准工具粘贴在头部 1 。点 击 [ 下一步 ] 向下 移动。 移动后， 手 动粘贴工具到首部。 ” 消息。 在磁头 1 号的吸嘴 槽上手动贴装 CN400 吸嘴后 点 击 < 下个 > 按钮。 5. 显示 “排列高度…
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备 注 飞行相机的校正基准值为如下
FOV 25 (MEGA)
ScaleX: 22.85~23.81 (μm/pixel)
ScaleY: 22.85~23.81 (μm/pixel)
12.3.10.6. Fly Camera Offset Calibration
校正飞行相机和Head Spindle 中心间的差距。 为校正飞行相机中心和 Head Spindle
中心的 Offset，必须先行Fly Camera Calibration和 Head Z Offset Calibration 应该使用
特制的器具(Calibration Tool)。
使用Head的Reference Fiducail Mark时，同时执行Reference Fiducial Offset 校正。
是否使用Head的Reference Fiducial Mark，在System Setup菜单的Camera对话框中进
行设置。Default 值为’Use’。
下面是 Fly-Camera Offset 的校正步骤。
1. 点击<准备吸嘴>按钮，在ANC1 号孔中插入CN400吸嘴。选择<自动下一步>
校验框后，
2. 点击<11. Fly Camera Offset> 按钮，则对选择的Gantry自动执行校正。选择<没
有实际运动（手动）>校验框后，执行校正会在各Head手动插入吸嘴，并点击 <
下个> 进入下一个阶段。不选<自动下一步> 或<没有实际运动（手动）>中的任
何校验框的状态下执行校正时，虽然对当前被选的Head 自动更换吸嘴，但要点
击< 下个 > 按钮才能执行下一个阶段。点击<11. Fly Camera Offset>
按钮则显示”
首先，我们必须把所有吸嘴手动离开朝向。将Z轴调制低处，点击[ 下一步]”消
息。为了手动除去所有贴装在磁头的吸嘴，拉下磁头的Z 轴请点击< 下个> 按
钮。
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3. 那么, Head Assembly 移动到设备指定的位置后，拉下所有 Z 轴。此时，请手动除
去已贴装的所有吸嘴。
4. 显示 “下一步，将标准工具粘贴在头部1。点 击 [下一步]向下移动。移动后，手
动粘贴工具到首部。” 消息。 在磁头1 号的吸嘴槽上手动贴装CN400吸嘴后点
击<下个 > 按钮。
5. 显示“排列高度上升，镜像关闭。移动，点击[下一步]”消息。请点击<下个 > 按
钮。
6. 显示 “排列高度上升，镜像关闭。移动，点击[下一步]” 消息。 请点击<下个>
按钮。
那么，磁头1上升到飞行相机的 Align 高度，关闭 Mirror。 然后在消息窗显示”准
备标准。对于标准，点击[下一步].” 消息。此时在 <目标摄像>组合框中选择”
飞行相机1”点击 <亮度>按钮，在”亮度控制”
对话框中’SMVision’窗口 显示
的Calibration Tool上的 Fiducial Mark明显为止调整照明亮度后点击 < 下个>按
钮。
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7. 校正首先识别Head 的Reference Fiducial Mark 测量飞行相机的R Offset。之后用
飞行相机识别校正 Tool 底面的Fiducial Mark 2点测量飞行相机的Scale 值。
8. 自动执行 Calibration 后完成 Calibration则如下图显示结果值，请点击< 下个> 按
钮。
9. 显示”下一步, 把校校正工具从H1 取下, 点击[下一步]头将向下移动。移动后,
用手取下工具。”消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去Calibration Tool请
点击< 下个>按钮。
10. 请按照对磁头 1的校正方法，同样地从Head 2~10 执行校正。