SM471_Administrators_Guide(Chi_Ver1).pdf - 第379页
12-75 Machine Calibration 备 注 R- 轴偏移的校正基准值如 下。 Real Max(Min): 命令值与测定值之间的最大 (最小) 误差 Head1~Head6 : -0.500 ~ 0.50 0(deg) Err Max(Min) : 测定值与补偿值之间的最大 (最小) 误差 Head1~Head6 : -0.200 ~ 0.20 0(deg) 12.3.10.9. Beam Offset Cali…

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10. 按照Head 2 的校正方法,对Head 2~ 6执行校正。
11. 正常结束对所有磁头的校正,则显示如下结果值。如下图显示结果值。
12. 完成对Gantry1的校正后在<Gantry> 组合框中选择’Gantry2’以相同的方法执
行校正。结果值可在R Axis 对话框中确认。

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Machine Calibration
备 注 R-轴偏移的校正基准值如下。
Real Max(Min): 命令值与测定值之间的最大(最小)误差
Head1~Head6 : -0.500 ~ 0.500(deg)
Err Max(Min) : 测定值与补偿值之间的最大(最小)误差
Head1~Head6 : -0.200 ~ 0.200(deg)
12.3.10.9. Beam Offset Calibration
该校准作业测量基准相机 (Fiducial Camera)中心与悬臂的 Beam Sensor之间的距离。
需要测量Beam Offset时,先在系统菜单的<Head>选项卡选择需要使用的Beam
Sensor。
下面是Beam Offset的校准过程。
1. 单击<16. Beam Offset>键,实行 Beam Offset对话框。

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2. 选择需要校准的悬臂。
3. 示教工具选择Fid Cam2(或Fid Cam4)后,利用示教框(jog box)把X-Y轴移动到
可以识别位置的领域(可以利用SMVision 判别的地点)。
4. 单击<Get>键,把当前位置保存到<Teaching Position>。
5. 示教工具选择Beam1( 或Beam2),然后利用示教框(jog box)移动到 <Teaching
Position>位置。
6. 单击<Get>键,把当前位置保存到<Beam Position>。