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第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序 4- 188 ● 当标记识别 不稳定时 ，请按下照明 条件设定按 钮， 设置照明条件 。 请在指定测定框 的左上方 前，先设置照明 条件。 图 4-5-2-11-2 设置 照明条件（面板） 图 4-5-2-11-3 设置 照明条件（ HOD ） 按下设置照明条 件按钮， 显示如下画面。 请设置照 明类型。 图 4-5-2-11-4 设置 照明类型 ·按 < 应用 > 按钮 可确认…
第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序
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③ 请设定检出框。
按上下左右箭头键(使用 FAST 键可加速检出框的移动速度)
，调整上、左、下、右（按
顺序输入），设置检出框。
此时，将自动识别标记，并获的校正所需数据。
自动获得标记周围的干扰隔离级别，并显示在监视器上。
使用HOD的↑键、↓键(XY移动上下箭头键)进行调整,使标记清晰可见且周围的干扰非常小。
调整结束后请按ENTER键。
显示摄象机图像和长方形的框。
首先设定上面及左面的刻度框。
请调整至与标记的上面及左面一致。
调整后按 ENTER 键。
同样的，设定下面及右面的刻度框。
调整后按 ENTER 键。
第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序
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●
当标记识别不稳定时，请按下照明条件设定按钮，
设置照明条件
。
请在指定测定框的左上方前，先设置照明条件。
图 4-5-2-11-2 设置照明条件（面板）
图 4-5-2-11-3 设置照明条件（HOD）
按下设置照明条件按钮，显示如下画面。请设置照明类型。
图 4-5-2-11-4 设置照明类型
·按<应用>按钮可确认所设定的光量下的图像。
照明类型 处理
标准照明 识别通常的基板标记时使用。
阻剂/保护胶片 在标记上有阻剂或保护胶片，标准照明时标记反射不佳，
识别不稳定时使用。
用户定义
上述 2 种情况下标记的反射均不佳，识别不稳定时，直接
设定垂直、角度照明的光量时使用。
※用户定义的照明类型，一般设置在 50～200 之间。设置在 50 以下时，有时光亮不稳定。
在标记信息相同而需要仅对检出框进行重新示教时，按下 HOD 的 NEXT 键即可
略过③的操作。
但在这种情况下，重新识别标记时，NEXT 键无效。
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④ 请选择标记的形状。
标记的形状将被自动判别。判别结果有误时，请用HOD的↑键、↓键(X、Y
移动上下箭头
键)选择正确的标记。
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[ ]ＰＲ
⑤ 请进行检出框的示教。
完成④的操作后，画面中心(默认窗口)会自动显示标记尺寸 1.5 倍的标记。要改变检出
框时，请执行④的步骤。
在此，如果按下 HOD 的 PREVIOUS 键，可返回检出框的示教(③的操作)。
按与刻度框同样的方式来设定检测框。设定的方
法与刻度框相同。
完成调整后，按 ENTER 键。