JM-10_使用说明书.pdf - 第480页

第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序 4- 198 ③ 请进行 刻度框 ( 模板设定 框 ) 的示教。 按上下左右箭 头键 ( 使用 FAST 键可 加速检出框的 移动速度 ) ,调 整上、 左、 下、 右 (按顺 序输入),设置 检出框。 此时,自动 对标记进行识别 ,并获得 校正所需 的数据。 ********** ********** 显示摄象机图 像和 长方形 的框。 PAD 印刷部分 。 首先设定上面及 左面的刻 度框…

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1 基本篇 4 制作生产程序
4-197
当标记识别不稳定时,请按下照明条件设置按钮,
设置照明条件
请在指定测定框的左上方前,设置照明条件
4-5-2-12-2 设置照明条件(面板)
4-5-2-12-3 设置照明条件(HOD
按下设置照明条件按钮,显示如下画面。请设置照明类型。
4-5-2-12-4 设置照明类型
·可按<应用>按钮确认所设定光量下的图像。
设置照明类型,选择用户定义时,一般设置在50200间。设置50 以下时,
有时光量不稳定。
与标记相关的信息相同,仅需要对检出框进行重新示教时,按下HODNEXT键,即可
略过③的操作。
但在这种情况下,重新识别标记时,NEXT 键无效。
照明类型 处理
标准照明 识别通常的基板标记时使用。
阻剂/保护胶片
在标记上有阻剂/保护胶片,标准照明时标记反射不佳,
别不稳定时使用
用户定义
上述 2 种情况下标记的反射均不佳,识别不稳定时,直接
设定垂直、角度照明的光量时使用。
1 基本篇 4 制作生产程序
4-198
请进行
刻度框(模板设定)的示教。
按上下左右箭头键(使用FAST键可加速检出框的移动速度)
,调整上、左、下、(按顺
序输入),设置检出框。
此时,自动对标记进行识别,并获得校正所需的数据。
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显示摄象机图像和长方形的框。
PAD 印刷部分
首先设定上面及左面的刻度框。
设定想识别的上面及左面(移动箭头部分的边)
设定完成后按下 ENTER 键。
在画面下方显示Set Left-Top Point”。
以同样的方式设定下面及右面的刻度框。
调整完成后按下 ENTER 键。
在画面下方显示Set Right-Bottom Point”。
1 基本篇 4 制作生产程序
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然后,设置标记判定,选择PR
*请将标记对准PR的位置(HOD键、(XY移动上下箭头键)),然后按下ENTER键。
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[ *]PR
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刻度框的最大尺寸为 256×256 像素(画面的 1/4 左右)当刻度框过大时,
显示错误并返回③。
进行模板画面重心示教。
请进行检出框的示教
完成④的操作后,画面中心(默认窗口)会自动显示标记尺寸 1.5 倍的标记
要改变检出框时,请执行③的步骤。
在画面中显示刻度框和十字光标。
用“HOD移动十字光标,决定模板的重心(该位置与
基板数据的标记坐标一致)
画面下方显示“TempMatchSet Center”。
画面下方显示Select Mark
by Up or Down Key”。
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