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第 2 部 功能详解篇 第 7 章 手动控制 7- 21 7-4-2- 2 自动控制传送 从菜单栏中选择 「 控制（ C ） 」 / 「传送 （ C ） 」 / 「 自动控制传送 (A) 」 ，则显示如下 的自动 控制传送画面。 图 7-4-2-2-1 自动控 制传送 (1) 控制项目 用按钮来选择控 制项目。 图 7-4-2-2-2 控制项 目 (2) 定位方式 定位方式仅限于 外形基准 。 图 7-4-2-2-3 定位方 式
第 2 部 功能详解篇 第 7 章 手动控制
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7-4-2 传送
7-4-2-1 个别控制传送
从菜单栏中选择「控制」/「传送」/「个别控制传送(I)」，则显示如下的个别控制传送画
面。
图 7-4-2-1-1 传送类个别控制
(1) 控制项目
按下按钮，选择控制项目。
图 7-4-2-1-2 控制项目
(2) 控制按钮
按动控制按钮、执行控制项目。
控制按钮的显示因控制项目而异。
选择要控制的项目、选择[打开（O）]按钮、[关闭(F)]按钮、[打开/关闭(/)]按钮或按下
[F3]键、[F4]键、[F5]键进行控制。支撑台被勾选时、可按<上(U)>、<下(D)>、<上/下(/)>
按钮，进行控制。
(3) 状态显示
控制结束时显示各传感器、各单元的状态。
连续显示各传感器、各信号、各单元的状态。
第 2 部 功能详解篇 第 7 章 手动控制
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7-4-2-2 自动控制传送
从菜单栏中选择「控制（C）」/「传送（C）」/「自动控制传送(A)」，则显示如下的自动
控制传送画面。
图 7-4-2-2-1 自动控制传送
(1) 控制项目
用按钮来选择控制项目。
图 7-4-2-2-2 控制项目
(2) 定位方式
定位方式仅限于外形基准。
图 7-4-2-2-3 定位方式
第 2 部 功能详解篇 第 7 章 手动控制
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(3) 控制按钮
用控制按钮来执行控制项目。
选择控制项目后，按[执行(E)]按钮或按下[F3]键进行控制。
1) 初始化
将基板传送初始化。
2) 基板传送
根据定位方式中所指定的方式搬入基板。
3) 基板搬出
将基板搬出。
4) 解除基板固定
释放基板。
5) 基板重新固定
按定位方式指定的方式，重新加紧送通道上的基板。
(4) 状态显示
连续显示动作状态、各传感器、各信号、各单元的状态。