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第 2 部 功能详解篇 第 7 章 手动控制 7- 23 7-4- 3 图像 7-4-3- 1 VCS 控制 从菜单栏 选择「控制（ C ）」 / 「图像（ V ）」 / 「 VCS 控 制（ C ）」后，会显示如下的 VCS 控 制画面。 图 7-4-3-1-1 VCS 控制 (1) 控制单元 用按下式按钮， 选择控制 对象单元。 不受机器设置的 “使用单 元”设置的影响 。 （不使用的单元 也可选择 ） (2) 控制项目 用按下式按…
第 2 部 功能详解篇 第 7 章 手动控制
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(3) 控制按钮
用控制按钮来执行控制项目。
选择控制项目后，按[执行(E)]按钮或按下[F3]键进行控制。
1) 初始化
将基板传送初始化。
2) 基板传送
根据定位方式中所指定的方式搬入基板。
3) 基板搬出
将基板搬出。
4) 解除基板固定
释放基板。
5) 基板重新固定
按定位方式指定的方式，重新加紧送通道上的基板。
(4) 状态显示
连续显示动作状态、各传感器、各信号、各单元的状态。
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7-4-3 图像
7-4-3-1 VCS 控制
从菜单栏选择「控制（C）」/「图像（V）」/「VCS 控制（C）」后，会显示如下的 VCS 控
制画面。
图 7-4-3-1-1 VCS 控制
(1) 控制单元
用按下式按钮，选择控制对象单元。
不受机器设置的“使用单元”设置的影响。
（不使用的单元也可选择）
(2) 控制项目
用按下式按钮，选择控制项目。
不受机器设置的“使用单元”设置的影响。
（不使用的单元也可选择）
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(3) 控制按钮
用控制按钮，执行控制项目。
控制按钮的显示、因控制项目而异。
① 侧面照明控制、下方照明控制、同轴照射照明控制、全照明控制
选择控制项目后，选择＜打开（O）＞按钮、＜关闭（F）＞按钮、＜打开／关闭（/
）
＞按钮，或［F3］键、［F4］键、［F5］键、进行控制。
选择控制项目后、选择＜设置（S）＞ 按 钮 、或按［Ｆ６］键、则会显示照明设置画面。
在照明设置画面上、可选择照明和光量。
图 7-4-3-1-2 照明设置画面
选择＜确定＞按钮后，从下次起按设置的内容打开照明。
选择＜取消＞按钮后，设置的内容变为无效。
② 极性控制
控制极性的正／反。
控制项目的“极性控制”被勾选时、可选择＜正（P）＞按钮、＜反（N）＞按钮、
＜正／反（/）＞按钮、或按［F3］键、［F4］键、［F5］键、进行控制。
如果是 DFFPVCS、不能选择极性控制。
③ 照明单元移动控制
使照明单元向 Standard 方向、或 Option 方向移动。
控制项目的“照明单元移动控制被勾选时、可选择＜STD（S）＞按钮、＜OPT（O
）
＞按钮、＜STD／OPT（/）＞按钮、或［F3］键、［F4］键、［F5］键进行控制。
(4) 状态显示
控制完了时显示各单元的状态。