JM-10_使用说明书.pdf - 第478页
第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序 4- 196 4-5-2- 12 用户指定模板的示教 基板或电 路上没有 BOC 标记时，可 以将电路图案 ※ 1 作为 BOC 标记 进行登录。 ※ 1 ：只要 是可与其 它基板图案区别 的图案， 都可使用 ( 交织 、电路等 ) 。 请选择不会因基板不同而产生偏差的稳定图案。 如有可 能， 最 好把图案模式 （ la nd ） 作为 标记 使用。 < 步骤 > ① 将光标移动…
第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产程序
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⑨示教结束后，显示提示，询问是否注册到标记数据库里。
图 4-5-2-11-9 基板标记示教(2)
要把示教的新数据注册到标记数据库时，请输入注册名称，按下<新建>按钮。
要替换已经注册的示教数据时,请输入替换的名称，将光标移至注册区域想要替换的数据
所在的行，然后按下<覆盖>（保存）按钮。
不将示教数据注册到标记数据库中时，请按下<取消>按钮。
No. 按钮选择 处理
1 新建 输入注册名称，将示教数据注册到标记数据库后并结束。
2 覆盖（保存） 用所选的光标所在行的数据替换。
3 取消 退出，不将示教数据注册进标记数据库。
至此，以识别为目的的示教操作结束。识别示教结束后，标记数据的旁边会显示“*”，
表示示教完成。对要使用的标记，请全部进行识别示教。
在示教过程中按下HOD的CANCEL键，可即刻结束当前的示教。(
此时，到此为止所输入
的数据均无效)。
按下CANCEL键时，装置不会移动。
按下 HOD 的 CAMERA 键可进行黑白反色显示。若标记相对于基板显得比较暗时，请按
CAMERA 键进行黑白反色显示，可使标记显得白亮。
通过 CAMERA 键进行的标记黑白反色显示，仅限于在刻度框输入时有效。
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4-5-2-12 用户指定模板的示教
基板或电路上没有BOC标记时，可以将电路图案
※1
作为BOC标记进行登录。
※1：只要是可与其它基板图案区别的图案，都可使用(交织、电路等)。
请选择不会因基板不同而产生偏差的稳定图案。如有可能，最好把图案模式（land）作为标记
使用。
<步骤>
① 将光标移动到作为示教对象数据的标记位置。
但进行识别的示教时，需要预先输入标记的X、Y坐标。
图 4-5-2-12-1 用户指定模板的示教
② 请按 HOD 的 CAMERA 键。
摄像机移动到标记的XY坐标处，监视器画面中显示示教对象(要记忆的)的图案。
自动获得标记周围的干扰隔离级别，并显示在监视器上。
使用HOD的↑键、↓键(XY移动上下箭头键)进行调整,
使标记清晰可见且周围的干扰非常
小。
调整结束后请按ENTER键。
※ 当监视器画面上没有想示教的图案时，请检查输入的坐标是否正确。
※ 对于陶瓷基板标记(标记为白色)，检查后请再按下“CAMERA”。
在此按摄像机键，可切换极性。
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●
当标记识别不稳定时，请按下照明条件设置按钮，
设置照明条件
。
请在指定测定框的左上方前，设置照明条件。
图 4-5-2-12-2 设置照明条件（面板）
图4-5-2-12-3 设置照明条件（HOD）
按下设置照明条件按钮，显示如下画面。请设置照明类型。
图 4-5-2-12-4 设置照明类型
·可按<应用>按钮确认所设定光量下的图像。
※ 设置照明类型，选择用户定义时，一般设置在50～200之间。设置50 以下时，
有时光量不稳定。
与标记相关的信息相同，仅需要对检出框进行重新示教时，按下HOD的NEXT键，即可
略过③的操作。
但在这种情况下，重新识别标记时，NEXT 键无效。
照明类型 处理
标准照明 识别通常的基板标记时使用。
阻剂/保护胶片
在标记上有阻剂/保护胶片，标准照明时标记反射不佳，识
别不稳定时使用。
用户定义
上述 2 种情况下标记的反射均不佳，识别不稳定时，直接
设定垂直、角度照明的光量时使用。