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第 1 章 作业顺序书 1- 1. 系统软件的安装 6 6. 触摸［触控屏 ］的［调整完毕］，结 束触控屏 的调整。 ［调整完毕］按钮变为蓝色显示。 1-1- 3. 基板流动方向的选择 在［制造菜单］画面上选择传送方向以及后侧传送的基准轨道。 初始设置如下所示。 基板流动方向：从右向左 后侧传送基准轨：第 3 轨道（在单轨传送规格下，选择第 3 轨道。）
第 1 章 作业顺序书
1-1. 系统软件的安装
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4.
根据画面的指示，从左上方开始依次触摸画面上显示的红色⊕标记，共
9
处。
（注意）触摸操作时间太短会没有反应。触摸操作请长按１秒以上。
↓
（依次触摸 9 处）
↓（调整完毕）
5.
触摸［
OK
］后校准结束。
返回［制造菜单］画面。
第 1 章 作业顺序书
1-1. 系统软件的安装
6
6.
触摸［触控屏］的［调整完毕］，结束触控屏的调整。
［调整完毕］按钮变为蓝色显示。
1-1-3. 基板流动方向的选择
在［制造菜单］画面上选择传送方向以及后侧传送的基准轨道。
初始设置如下所示。
基板流动方向：从右向左
后侧传送基准轨：第 3 轨道（在单轨传送规格下，选择第 3 轨道。）
第
1
章
作业顺序书
1-1.
系统软件的安装
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1-1-4.
出厂编号的输入
在［制造菜单］画面上触摸出厂编号的文本框，输入序列号码。
键盘的操作
数字键：输入数字。
字母键：输入字母。
RX8
键：输入“
RX8
”。
BS
：删除光标所在位置前侧的一个字母（后退）。
Del
：删除光标所在位置后侧的一个字母（删除）。
AC
：全部清除所输入的数字。
/ ：移动光标的位置。
Tips
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其他按键在此无效。