RX-8_维修手册.pdf - 第74页
第 2 章 操作顺序书 2- 2. 制造设置菜单 32 St age 10 ：外部 I/F 确认 项目 No. 控制名称 部位 Bit 装置 判断 方式 向下一 画面转移 显示 条件 10 -6 运入 SMEMA 信号 确认（前） F Conveyor [OUT] [IN] +13109h D0 +1319Dh D4 － F 确认 OK － 10 -8 运出 SMEMA 信号 确认（前） F Conveyor [OUT] [IN] …
第
2
章
操作顺序书
2-2.
制造设置菜单
31
Stage 9
：传送系统确认项目
No.
控制名称
部位
Bit
装置
判断
方式
向下一
画面转移
显示
条件
9-3
基板检出传感器
（前
R
）
F Conveyor
[IN]
+1319Ch
D3
－
D
自动
－
9-6
基板检出传感器
（前
C
）
+1319Ch
D2
－
D
自动
－
9-9
基板检出传感器
（前
L
）
+1319Ch
D1
－
D
自动
－
9-15
支承销
检出传感器
1
F Conveyor
[IN]
+1319Dh
D6
－
D
自动
－
9-25
夹钳上升／下降
(
前
R)
F Conveyor
[OUT]
[IN]
+13105h
D3
+131A0h
D0
－
F
确认
OK
－
9-29
夹钳上升／下降
(
前
L)
F Conveyor
[OUT]
[IN]
+13104h
D3
+131A0h
D1
－
F
确认
OK
－
9-32
供料器浮起检测
(
高速
)
E Bank Relay
[IN]
+14010h
D3
－
D
自动
－
9-34
基板停止器上升
/
下
降
(
前
R)
F Conveyor
[OUT]
[IN]
+13105h
D2
+131A2h
D0
－
F
确认
OK
－
9-37
基板停止器上升
/
下
降
(
前
L)
F Conveyor
[OUT]
[IN]
+13104h
D2
+131A2h
D1
－
F
确认
OK
－
9-40
传送系统确认
自动
手动
－
第
2
章
操作顺序书
2-2.
制造设置菜单
32
Stage 10
：外部 I/F 确认项目
No.
控制名称
部位
Bit
装置
判断
方式
向下一
画面转移
显示
条件
10-6
运入
SMEMA
信号
确认（前）
F Conveyor
[OUT]
[IN]
+13109h
D0
+1319Dh
D4
－
F
确认
OK
－
10-8
运出
SMEMA
信号
确认（前）
F Conveyor
[OUT]
[IN]
+13109h
D1
+1319Dh
D5
－
F
确认
OK
－
10-10
外部
I/F
确认
自动
手动
－
第
2
章
操作顺序书
2-2.
制造设置菜单
33
2-2-3.
机械调整
这里，对象是通过画面操作进行机械调整的项目。
Stage1
：基板检出传感器
从画面左侧的子菜单中触摸［机械调整］。
显示［进度列表］画面。
触摸［开始机械调整］。
显示如下画面。首先对前通道的基板检出传感器进行调整。
触摸［装置内作业开始］。
进行左右一次性更换台车下降、前面护罩解除锁定。
选择要使用的基板尺寸。
显示［传送通道微调操作］画面。