RX-8_维修手册.pdf - 第75页
第 2 章 操作顺序书 2- 2. 制造设置菜单 33 2-2- 3. 机械调整 这里，对象是 通过 画面操作进行机械 调整的项目。 Stage1 ：基板检出 传感器 从画面左侧的子菜单中触摸［机械调整］。 显示［进度列表］画面 。 触摸［开始机械调整］。 显示如下画面。首先对 前 通道 的基板检出传感器 进行 调整。 触摸［装置内作业开始］。 进行左右一次性更换台 车下降、前面护罩解 除锁定。 选择要使用的基板尺寸。 显示［传送通道微…
第
2
章
操作顺序书
2-2.
制造设置菜单
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Stage 10
：外部 I/F 确认项目
No.
控制名称
部位
Bit
装置
判断
方式
向下一
画面转移
显示
条件
10-6
运入
SMEMA
信号
确认（前）
F Conveyor
[OUT]
[IN]
+13109h
D0
+1319Dh
D4
－
F
确认
OK
－
10-8
运出
SMEMA
信号
确认（前）
F Conveyor
[OUT]
[IN]
+13109h
D1
+1319Dh
D5
－
F
确认
OK
－
10-10
外部
I/F
确认
自动
手动
－
第
2
章
操作顺序书
2-2.
制造设置菜单
33
2-2-3.
机械调整
这里，对象是通过画面操作进行机械调整的项目。
Stage1
：基板检出传感器
从画面左侧的子菜单中触摸［机械调整］。
显示［进度列表］画面。
触摸［开始机械调整］。
显示如下画面。首先对前通道的基板检出传感器进行调整。
触摸［装置内作业开始］。
进行左右一次性更换台车下降、前面护罩解除锁定。
选择要使用的基板尺寸。
显示［传送通道微调操作］画面。
第
2
章
操作顺序书
2-2.
制造设置菜单
34
根据基板的尺寸触摸 ／ 以调整通道的宽度，触摸［OK］。
把基板安放到通道的上游侧，触摸［开始运入］。
基板被运入。
基板通过时，要确认画面中［基板检出传感器］的显示变为 。
按各基板尺寸进行操作顺序 5 ～ 7，如没有问题，触摸［调整 OK］。
于是显示后通道基板检出传感器的调整画面。
注意
•
如果不出现 的显示，请进行以下调整。
－
传感器灵敏度的调整
－
传感器光轴的调整
后侧通道也与前侧通道相同，以各基板尺寸进行调整。
不方便进行作业时，可以触摸［基准位置］的
/
使基准轨道移动。
后通道的调整完成后，将显示［全部调整完成。］。
触摸［调整 OK］。
自动显示［进度列表］画面，下一个［伺服调整］菜单可开始操作。