JX-200_机器控制参数.pdf - 第82页
Rev. 1.0 机器控制参数 (3)VCS 种类 № 区分 内 容 1 0 标准 VCS 用 2 1 选项 VCS 用 3 2 ~ 3 预备 (4) 窗口尺寸 № 区分 内 容 1 0 视野口 7.2mm 用 2 1 视野口 15.0mm 用 3 2 视野口 20.0mm 用 4 3 视野口 25.0mm 用 5 4 视野口 32.0mm 用 6 5 ~ 15 预备 4-48

Rev. 1.0
机器控制参数
4-4-4 各 MNVC VCS 种类的设定
图 4-4-4 各MNVC VCS 种类的设定
(1)设定画面的显示方法
菜单∶[输入]→[画像]→[MNVC]→[各 VCS 的设定]
起动∶[画像]按钮→[MNVC]标签→[各 VCS 的设定]按钮
(2)设定项目
输入范围
№ 项目
最小值 最大值
单位 备考
1 VCS 种类 0 3 参照(3)VCS 种类
2 数据有效/无效 0:无效、1:有效
3 VCS 的种类
0:标准 VCS
2:选项 VCS
4 窗口尺寸 0 15 参照(4)窗口尺寸
5 数据有效/无效 0:无效、1:有效
6 视野中心坐标(横方向) 像素 8的倍数
7 视野中心坐标(纵方向) 像素
8 视野尺寸(横方向) 像素 16的倍数
9 视野尺寸(纵方向) 像素
10
各窗口尺寸的控制
参数
该窗口的最大长边尺寸
0.1
μm
11 该窗口的最小短长边尺寸
0.1
μm
注) 在“数据有效/无效”选择了“无效”后,以后的项目不能编辑。
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Rev. 1.0
机器控制参数
(3)VCS 种类
№ 区分 内 容
1 0 标准 VCS 用
2 1 选项 VCS 用
3 2~3 预备
(4)窗口尺寸
№ 区分 内 容
1 0 视野口 7.2mm 用
2 1 视野口 15.0mm 用
3 2 视野口 20.0mm 用
4 3 视野口 25.0mm 用
5 4 视野口 32.0mm 用
6 5~15 预备
4-48

Rev. 1.0
机器控制参数
4-4-5 MNVC 元件控制参数
图 4-4-5 MNVC 元件控制参数
(1)设定画面的显示方法
菜单∶[输入]→[画像]→[MNVC]→[元件控制参数]
起动∶[画像]按钮→[MNVC]标签→[元件控制参数]按钮
(2)设定项目
输入范围
№ 项目
最小值 最大值
单位 备考
1 数据有效/无效
0:无效
1:有效
2
纵长姿势控制最小长边尺寸
法(长边为该值以上时控制
纵长)
0.1μm
3 适用的最大长边尺寸 0.1μm
4 最大对角尺寸 0.1μm
5 适用最大长边尺寸(扩展) 0.1μm
6
元件控制参数
最大对角尺寸(扩展) 0.1μm
注) 在“数据有效/无效”选择了“无效”后,以后的项目不能编辑。
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