DEUKYX-193-3100_G5S2_VOL3.pdf - 第189页
DEUKYX 2-21 193-3100 2.1 Device Offset 2.1.18 Slit Pos Offset Wird der [Slit Pos Offset]-Tab im Bildschirm "Device Offset" gedrückt, öffnet sich der folgende Bildschirm. Grafischer Ablauf F3B91
DEUKYX
2-20193-3100
2.1 Device Offset
2.1.17 Side View Camera
Wird der [Side View Camera]-Tab im Bildschirm "Device Offset" gedrückt,
öffnet sich der folgende Bildschirm.
Grafischer
Ablauf
F3B90
DEUKYX
2-21193-3100
2.1 Device Offset
2.1.18 Slit Pos Offset
Wird der [Slit Pos Offset]-Tab im Bildschirm "Device Offset" gedrückt, öffnet
sich der folgende Bildschirm.
Grafischer
Ablauf
F3B91
DEUKYX
2-22193-3100
2.2 Feeder Base
2.2 Feeder Base
Wird der [Feeder base]-Tab im Bildschirm "Offset Data" gedrückt, öffnet sich der
folgende Bildschirm.
Grafischer
Ablauf
[1]
[2]
[3]
F3B22
[1] L [mm]
Die Offsetparameter werden zur Korrektur der Positionsabweichungen (Höhe)
basierend auf den Abmessungen von Feeder-Basis #1 und #2 verwendet.
Wird eine Feeder-Basis niedriger als der vorgegebene Wert installiert, mit in
die Textfelder ein positiver Wert eingetragen werden.
Hinweis
Die Neigungen des LP-Positionierungsbereichs auf den Feeder-
Basisbereichen werden anhand der X- und Y-Werte von "Mark (Left)" und
"Mark (Right)" berechnet.
[2] [Ret]-Taste
Wird diese Taste gedrückt, kehrt das System zum Bildschirm "Offset Data"
zurück.
[3] [Save] -Taste
Wird diese Taste gedrückt, werden die eingegebenen Daten gespeichert.
[Cancel]-Taste
Wird diese Taste gedrückt, kehrt das System zum Bildschirm "Save Data"
zurück und die Eingaben werden verworfen.