NPM高级培训报告E0090616 (2).pdf - 第16页
16 /83 8. 点击面补正 XY 之后 . 不仅是下一项目,从 此画面换到其它画面 时都会显示确认是否 保存数据的画面。 ∗ 若要保存通过校准获 得的数据,请按 [ 是 ] 。 • 若按 [ 否 ] ,将会进行 原点复归,通过校准 获得的数据将被失掉。 • 上述操作完毕后,画 面将会转换。

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5 确认是否已正
常结束。
6 按 [XY 原点照
相机标尺]。
• 将会进行校准。
7 确认是否已正
常结束。
∗ 请反复进行步
骤3. ~ 7.的操作,
在其他工作台上
也要进行同样的
操作。

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8.点击面补正XY之后.
不仅是下一项目,从
此画面换到其它画面
时都会显示确认是否
保存数据的画面。
∗ 若要保存通过校准获
得的数据,请按[是]。
• 若按[否],将会进行
原点复归,通过校准
获得的数据将被失掉。
• 上述操作完毕后,画
面将会转换。

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2.面补正XY
1 在前工序中设置面
补正量具。
2 按 [STEP1]
3 按 [面补正XY]。
∗ 请确认本机内没有
基板。
4 按 [量具搬入]。
• 当本机内有基板时,
将显示错误。