NPM高级培训报告E0090616 (2).pdf - 第37页
37 /83 7. 量具站 1 按 [ST EP3] 2 按 [ 量具站 ] 。 ∗ 请确认本机内是否 没有基板。 3 选择工作台。 ∗ 请选择进行校准的 工作台。 4 选择所有的计测项 目。 • 所选择的项目将会 变成淡蓝色显示。 ( 解除选择的项目将 会变成灰色显示。 ) 5 按操作面板的 [ 计 测开始 ] 。

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13. 观察HOLDER
角度,如果反掉,点击
[是]

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7.量具站
1 按 [STEP3]
2 按 [量具站]。
∗ 请确认本机内是否
没有基板。
3 选择工作台。
∗ 请选择进行校准的
工作台。
4 选择所有的计测项
目。
• 所选择的项目将会
变成淡蓝色显示。
(解除选择的项目将
会变成灰色显示。)
5 按操作面板的 [计
测开始]。

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6. 安装量具站。
∗ 请事先将量具元件、照明亮度量具安
装在量具站上。
∗ 将量具元件、照明亮度量具如照片所
示设置到量具站。
量具元件、照明亮度量具单体时没有方
向性。
7. 将量具站的电源开关置于ON。
∗ 请确认电源开关的LED 灯亮灯了。