NPM高级培训报告E0090616 (2).pdf - 第18页
18 /83 5 按 [ 执行 ] 。 • 本机将会进行传 送带宽度的自动 调整，请搬入 面补正量具。 6 按 [ 确认 ] 。 • 吸头将会移动到 退避位置。 7 将伺服开关置 于 OFF 。 8 打开安全盖。
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2.面补正XY
1 在前工序中设置面
补正量具。
2 按 [STEP1]
3 按 [面补正XY]。
∗ 请确认本机内没有
基板。
4 按 [量具搬入]。
• 当本机内有基板时，
将显示错误。
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5 按 [执行]。
• 本机将会进行传
送带宽度的自动
调整，请搬入
面补正量具。
6 按 [确认]。
• 吸头将会移动到
退避位置。
7 将伺服开关置
于OFF。
8 打开安全盖。
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9 将面补正量具的
右端面对准前侧轨
道上面的基准标记，
然后固定。
10 关闭安全盖。
11 将伺服开关置
于ON。