NPM高级培训报告E0090616 (2).pdf - 第17页

17 /83 2. 面补正 XY 1 在前工序中设置面 补正量具。 2 按 [ST EP1] 3 按 [ 面补正 XY] 。 ∗ 请确认本机内没有 基板。 4 按 [ 量具搬入 ] 。 • 当本机内有基板时, 将显示错误。

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8.点击面补正XY之后.
不仅是下一项目,从
此画面换到其它画面
时都会显示确认是否
保存数据的画面。
若要保存通过校准获
得的数据,请按[]
若按[],将会进行
原点复归,通过校准
获得的数据将被失掉。
上述操作完毕后,画
面将会转换。
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2.面补正XY
1 在前工序中设置面
补正量具。
2 [STEP1]
3 [面补正XY]
请确认本机内没有
基板。
4 [量具搬入]
当本机内有基板时,
将显示错误。
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5 [执行]
本机将会进行传
送带宽度的自动
调整,请搬入
面补正量具。
6 [确认]
吸头将会移动到
退避位置。
7 将伺服开关置
OFF
8 打开安全盖。