YSM系列编程手册(1).pdf - 第8页
对象读者 ： 用户 SERV ICE I NFORM ATION 8/ 40 SI19120 16C -000 = 操作培训 补充 资料 Step 4. 为使 相机移动到标记坐标位置 ，打开示教画 面。 此时 , 若预先将相机移动到标记位置 , 可便于后述确认标记是否可正常识别。 打开 [ 基板 ]- “基准标记”选项卡页面，按 [ 示教 ] 按钮。 Step 5. 使相机移动到标 记坐标位置。 ① 选择移动目标的标记坐标。 ② 按 […
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2.3 创建标记信息
输入了标记坐标之后，接下来需要创建标记的信息。
Step 1.
按[标记]按钮，打开标记信息画面。
Step 2.
输入标记名、标记类型。
① 在前述 2.2 输入基板信息的 Step 3 中指定的标记编号的行中输入标记名。
② 将“标记类型”选择为“基准标记”。
Step 3.
输入标记的信息。
① 在“形状”页面输入标记的尺寸与形状。
② 在“识别”页面选择标记的表面类型。
＜One Point＞ 表面类型
标记比基板看上去白，选择“反光体”；标记比基板看上去黑，选择“非反光体”。
大半标记为“反光体”标记，但如果将孔等作为标记识别时请使用“非反光体”。
①
②
①
②
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Step 4.
为使相机移动到标记坐标位置，打开示教画面。
此时,若预先将相机移动到标记位置,可便于后述确认标记是否可正常识别。
打开[基板]-“基准标记”选项卡页面，按[示教]按钮。
Step 5.
使相机移动到标记坐标位置。
① 选择移动目标的标记坐标。
② 按[跟踪]按钮。
Step 6.
确认是否可以正常识别标记。
① 打开“标记”画面。
② 选择想要进行识别确认的标记。
③ 按[标记调整]按钮。
①
③
①
②
②
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Step 7.
进行识别测试。
① 按[标记照明]按钮，调整照明级别，使标记可以清晰可见。
② 按[适当值]按钮，查找最佳界限值。
③ 按数次[识别测试]按钮，确认是否可以正常识别以及识别是否稳定。
＜One Point＞ 识别失败时
识别失败时，请确认下列项目。
・ 设定的照明是否可使标记与基板的反差明显？
・ 设定的标记形状、尺寸是否正确？
・ 设定的表面类型是否正确？
・ 设定的标记检查范围是否过大，标记以外之物是否进入了标记检查范围？
・ 是否按[适当值]查找了最佳界限值？
＜One Point＞ 标记 2 的识别
基准标记是以 2 个标记为 1 组使用的。
即使其中一个标记可以正常识别，另一个标记使用同一数据也有可能无法识别。
因此，请务必对两个标记都进行识别测试，确认可以正常识别。
①
③
②