00195940-03-UM SiplaceCA-DE.pdf - 第4页

Inhalt Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie Ausgabe 08/2011 DE 4 2.1.5 Wichtige Hinweise zur Betriebssicherheit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35 2.1.5.1 Allgemeines . . . . . . . . . . . . …

Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie Inhalt

Ausgabe 08/2011 DE

Inhalt

1 Einleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .19

1.1 Maschinenbeschreibung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20

1.1.1 SIPLACE-Prinzip . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21

1.1.2 Erweiterungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22

1.1.3 SIPLACE CA4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23

1.1.4 SIPLACE CA3 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23

1.1.5 Seriennummer des SIPLACE CA-Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24

1.2 Beschreibung des SIPLACE Wafer-Systems (SWS) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25

1.2.1 Beschreibung und Funktionsprinzip. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25

1.2.2 Einbaumöglichkeiten des SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26

1.3 Allgemeines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26

1.3.1 Wo bekommen Sie Informationen? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26

1.3.2 SIPLACE im World-Wide-Web (WWW) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27

1.4 Wichtige Hinweise zur Betriebsanleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27

1.4.1 Inhalt und Aufbewahrung der Betriebsanleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27

1.4.2 Personalqualifikation und Schulung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27

1.4.3 Benutzerklassifizierung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28

1.5 Gefahrenhinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28

1.6 Mängelhaftung durch den Hersteller/Lieferer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29

1.7 Elektromagnetische Verträglichkeit (EMV) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29

1.8 EU-Konformitätserklärung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30

1.9 Übersicht über die Ausgabestände . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .30

1.10 Abkürzungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31

2 Betriebssicherheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33

2.1 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33

2.1.1 Konvention zur Verwendung von Gefahrensymbolen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33

2.1.2 Qualifiziertes Personal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34

2.1.3 Bestimmungsgemäßer Gebrauch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34

2.1.4 Bestimmungswidriger Gebrauch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35

Inhalt Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie

Ausgabe 08/2011 DE

2.1.5 Wichtige Hinweise zur Betriebssicherheit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .35

2.1.5.1 Allgemeines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .35

2.1.5.2 Zur Sicherheit von Personen und Bedienpersonal. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .36

2.1.5.3 Zur Sicherheit von Anlagen und Geräten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .37

2.1.6 Sicherheitshinweise zu Laserbaugruppen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .37

2.1.7 Sicherheitshinweise zu Permanentmagneten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .38

2.1.8 Wichtige Hinweise zur umweltfreundlichen Entsorgung von Materialien bzw. Maschi-

nenteilen40

2.2 Warnschilder am Bestückautomaten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41

2.2.1 Warnschilder W201, W203, W204 und W210 am Bestückautomaten. . . . . . . . . .41

2.2.1.1 Warnschild W201 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .43

2.2.1.2 Warnschild W203 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .43

2.2.1.3 Warnschild W204 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .43

2.2.1.4 Warnschild W210 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .44

2.2.2 Warnschild W202 an den Portalen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .45

2.2.3 Warnschild W205 am Gurtschneidgerät. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .47

2.2.3.1 Warnschild W205 an der Oberseite . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .47

2.2.3.2 Warnschild W205 an der Gurtabfallrutsche (X/CA-Serie) . . . . . . . . . . . . . . . . . . .48

2.2.4 Warnschild W206 und W1 an der Stromversorgung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .49

2.2.5 Warnschild W und Hinweisschild H an der Stromversorgung . . . . . . . . . . . . . . . .50

2.2.6 Warnschild W an der Abdeckung über der Stromversorgung für die

Servoverstärker . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .51

2.2.7 Warnschild W207 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .52

2.2.7.1 Warnschild W207 am Achseinschub . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .52

2.2.7.2 Warnschild W207 an der Einschaltstrombegrenzung der Stromversorgung . . . . .53

2.2.8 Warnschild W208 "Laserklasse 2" am LP-Transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .54

2.2.9 Warnschild W211 am CEKON-Stecker . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .55

2.2.10 Warnschild W209 an den NOT-HALT-Tastern. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .56

2.2.11 Hinweisschild "Kopfcrash" an der IC-Kamera des TwinHead . . . . . . . . . . . . . . . .57

2.3 Warnschilder am SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58

2.3.1 Warnschild W204 auf der Waferaufnahme. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .58

2.3.2 Warnschild W201 Sicherer Betrieb der Maschine SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .60

2.3.3 Warnhinweis auf der Linear-Dipping-Unit (LDU) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .61

2.3.4 Warnhinweis auf der Flip-Unit und der Die-Attach-Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .62

2.3.5 Warnschild W209 am NOT-HALT-Taster. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .63

2.4 Laserklassifizierung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64

2.4.1 Laserklasse 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .64

2.4.1.1 Klassifizierung der Gesamtmaschine. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .64

2.4.1.2 Klassifizierung der Kamerasysteme. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .64

2.4.2 Laserklasse 1M . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .64

2.4.3 Laserklasse 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .65

2.5 Sicherheitshinweise zum Transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .65

2.5.1 Transport des Bestückautomaten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .65

2.5.2 Transport des SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .66

Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie Inhalt

Ausgabe 08/2011 DE

2.6 Sicherheitshinweise zum Betrieb des Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66

2.6.1 Sicherheitshinweise zum Schließen der Schutzhauben. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66

2.6.2 Sicherheitshinweise für die Verarbeitung von Kondensatoren auf

Metallpulver-Basis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68

2.6.3 Sicherheitshinweise zum Abziehen von Pipetten bei Collect&Place-CA-Köpfen. . 69

2.6.4 Sicherheitshinweise zum manuellen Verschieben der Z-Achse am TwinHead . . . 70

2.6.5 Sicherheitshinweise für die BE-Kameras des TwinHead bei einem

Bestückkopfwechsel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71

2.6.6 Sicherheitshinweise zum An- und Abdocken des BE-Wagens . . . . . . . . . . . . . . . 72

2.6.7 Sicherheitshinweise zum Bewegen des BE-Wagens. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73

2.6.8 Sicherheitshinweise zum Leeren des Gurtabfallbehälters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73

2.6.9 Kollisionsgefahr des Abwurfbehälters mit dem BE-Sensor des C&P20 CA-

Bestückkopfes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74

2.6.10 Hinweis zur EGB-Sicherheit der Automaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75

2.6.11 Hohe Temperaturen am C&P20 CA-Bestückkopf bei Dauerbetrieb . . . . . . . . . . . 76

2.6.12 Hohe Temperaturen an den X-Zuführmodulen bei Dauerbetrieb. . . . . . . . . . . . . . 77

2.7 Sicherheitshinweise zum Betrieb des SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78

2.7.1 Sicherheitshinweise zu Arbeiten am Wafer-Tisch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78

2.7.2 Sicherheitshinweise zum Wechseln der Wafermagazine. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78

2.7.3 Sicherheitshinweise zum Schließen der Schutzhaube. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79

2.7.4 Sicherheitshinweise zur Linear-Dipping-Unit (LDU). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79

2.8 Sicherheitseinrichtungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80

2.8.1 Schutzhauben . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80

2.8.2 Schalter und Taster am Automaten und am SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82

2.8.2.1 Lage von Schaltern und Tastern am Automaten und am SWS . . . . . . . . . . . . . . . 82

2.8.2.2 Funktionsbeschreibung der Schalter und Taster am Automaten. . . . . . . . . . . . . . 84

2.8.2.3 Funktionsbeschreibung der Schalter und Taster am SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86

2.8.2.4 Lage von Schutzschaltern am Automaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88

2.8.3 Lage von Schützsicherheitskombination und Servicesteckdose . . . . . . . . . . . . . . 89

2.8.4 NOT-HALT-Schleifen und Meldekreis an SIPLACE und SWS. . . . . . . . . . . . . . . . 90

2.8.4.1 Aufbau der SIPLACE-NOT-HALT-Schleifen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91

2.8.4.2 Aufbau des Meldekreises. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92

2.8.4.3 Funktionsbeschreibung der SIPLACE-NOT-HALT-Schleifen. . . . . . . . . . . . . . . . . 92

2.8.4.4 Aufbau und Kontrolle der SWS-NOT-HALT-Schleifen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 94

2.8.4.5 Funktionsbeschreibung der SWS-NOT-HALT-Schleife . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 94

2.8.5 Eingreifschutz an den Stellplätzen des BE-Wagens, SIPLACE X-Serie . . . . . . . . 96

2.9 Restspannungen und Entladezeiten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 97

2.9.1 (Bestück-)Automat . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 97

2.9.1.1 Betriebsspannungen, Restspannungen und Entladezeiten nach Drücken

des NOT-HALT-Tasters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98

2.9.1.2 Restspannungen und Entladezeiten nach Ausschalten des Hauptschalters. . . . . 99