00195940-03-UM SiplaceCA-DE.pdf - 第7页

Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie Inhalt Ausgabe 08/2011 DE 7 3.4.4 Ab standsmaße der Maschinenfü ße und der festen LP-T ransportkanten. . . . . . . 130 3.4.4.1 Abstandsmaße der Ma schinenfüße und der festen rechten Tra…

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Inhalt Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
Ausgabe 08/2011 DE
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2.10 Sperren der Druckluftzufuhr und Druckabbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
2.11 Energiezustand nach Ausschalten des Hauptschalters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101
2.11.1 Hauptschalter am Bestückautomaten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .102
2.11.1.1 Hauptschalter ausgeschaltet - Automat am Netz angeklemmt. . . . . . . . . . . . . . .105
2.11.1.2 Hauptschalter ausgeschaltet - Automat vom Netz abgeklemmt. . . . . . . . . . . . . .109
2.11.1.3 Druckluftverhältnisse im Automaten nach Abschalten des Hauptschalters . . . . .109
2.11.2 Hauptschalter am SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .109
2.12 Verriegeln des Automaten und Anbringen von Warnschildern . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
2.12.1 Aufgabe und Zweck . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .109
2.12.2 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .110
2.12.3 Testen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .113
2.12.4 Verantwortung und Pflichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .113
2.12.5 Schulung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .114
2.12.6 Überprüfung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .114
2.13 EGB-Richtlinien . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 115
2.13.1 Was bedeutet EGB?. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .115
2.13.2 Wichtige Schutzmaßnahmen gegen statische Aufladung . . . . . . . . . . . . . . . . . .115
2.13.3 Handhabung von EGB-Baugruppen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .115
2.13.4 Messen und Ändern an EGB-Baugruppen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .116
2.13.5 Versenden von EGB-Baugruppen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .116
3 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .117
3.1 Leistungsdaten der SIPLACE CA . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 117
3.2 Bauelementebereitstellung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 121
3.3 Anschlusswerte der SIPLACE CA . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122
3.3.1 Elektrische Anschlusswerte . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .122
3.3.2 Druckluftversorgung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .122
3.3.3 Druckluftspezifikation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .123
3.3.4 Geräuschemissionsangabe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .123
3.3.5 Zulässige Umwelteinflüsse. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .123
3.4 Abmessungen und Gewicht der SIPLACE CA . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 124
3.4.1 Abmessungen des CA4-Automaten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .124
3.4.2 Abmessungen des CA3-Automaten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .127
3.4.3 Höhe der aufgeklappten Schutzhauben. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .129
Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie Inhalt
Ausgabe 08/2011 DE
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3.4.4 Abstandsmaße der Maschinenfüße und der festen LP-Transportkanten. . . . . . . 130
3.4.4.1 Abstandsmaße der Maschinenfüße und der festen rechten Transportkante
des LP-Einfachtransports. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 130
3.4.4.2 Abstandsmaße der Maschinenfüße und der festen linken Transportkante
des LP-Einfachtransports. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 131
3.4.4.3 Abstandsmaße der Maschinenfüße und der festen rechten Transportkante
des LP-Doppeltransports . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 132
3.4.4.4 Abstandsmaße der Maschinenfüße und der festen linken Transportkante
des LP-Doppeltransports . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 133
3.4.5 Technische Daten - Abmessungen, Gewicht der Bestückautomaten . . . . . . . . . 134
3.4.6 Rangierabstand des BE-Wagens am CA4-Automaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 136
3.4.7 Rangierabstand des BE-Wagens am CA3-Automaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 137
3.4.8 Schwerpunkt der CA-Serien-Automaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 138
3.4.9 Schwerpunkt des SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 139
3.5 Linienkonzept. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 140
3.5.1 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 140
3.6 Baugruppenübersichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 142
3.6.1 Baugruppenübersicht SIPLACE CA4. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 142
3.6.2 Baugruppenübersicht SIPLACE CA3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 143
3.7 SIPLACE Wafer-System (SWS). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .144
3.7.1 Funktionsprinzip des SIPLACE Wafer-Systems (SWS). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 145
3.7.2 Grundfunktionen des SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 145
3.7.3 Basic-Die-Presentation-Prozess . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 146
3.7.3.1 Flip-Chip-Prozess. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 147
3.7.3.2 Die-Attach-Prozess . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 148
3.7.3.3 Die-Erkennung und -Positionierung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 149
3.7.3.4 Ausstechvorgang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 149
3.7.3.5 Pickup-Prozess . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 150
3.7.4 Pick & Transferprozess im Detail. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 150
3.7.4.1 Flip Chip Segment 1 (Pipette) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 150
3.7.4.2 Flip Chip Segment 1 (Z-Richtung) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 151
3.7.4.3 Die-Attach - Transferposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 152
3.7.4.4 Flip Chip codierte Positionen (nach dem Kalibrieren) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 153
3.7.5 Baugruppenübersichten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 156
3.7.6 Beschreibung der SWS-Baugruppen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 159
3.7.6.1 Versorgungseinheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 159
3.7.6.2 Flip-Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .160
3.7.6.3 Wafer-Kamera-System. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 162
3.7.6.4 Wafer-Tisch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 162
3.7.6.5 Die-Ejector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 166
3.7.6.6 Ausstech-Tool . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 168
3.7.6.7 Wafer-Wechsler-System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 169
3.7.7 Optionale Komponenten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 174
3.7.7.1 Linear-Dipping-Unit (LDU) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 174
3.7.7.2 Die-Attach-Unit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 175
3.7.7.3 Small-Die-Kit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 176
3.7.7.4 Wafer-Map-System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 176
3.7.7.5 Barcodescanner. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 176
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3.7.8 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .177
3.8 Bestückköpfe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 178
3.8.1 Bestückkopfkonfiguration am CA4-Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .178
3.8.2 Bestückkopfkonfiguration am CA3-Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .180
3.8.3 20-Segment-Collect&Place-CA-Kopf . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .181
3.8.3.1 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .183
3.8.3.2 Control- und Selflearning-Funktionen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .184
3.8.3.3 Funktionsbeschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .184
3.8.3.4 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .189
3.8.3.5 Sensor für den BE-Abwurfbehälter. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .189
3.8.4 12-Segment-Collect&Place-CA-Kopf . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .190
3.8.4.1 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .191
3.8.4.2 Control- und Selflearning-Funktionen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .192
3.8.4.3 Funktionsbeschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .193
3.8.4.4 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .194
3.8.5 6-Segment-Collect&Place-CA-Kopf . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .195
3.8.5.1 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .197
3.8.5.2 Control- und Selflearning-Funktionen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .197
3.8.5.3 Funktionsbeschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .197
3.8.5.4 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .199
3.8.6 SIPLACE TwinHead für hoch genaue IC-Bestückung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .200
3.8.6.1 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .201
3.8.6.2 Funktionsbeschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .201
3.8.6.3 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .203
3.9 Elektrische und pneumatische Anschlussstellen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 204
3.9.1 Elektrische Anschlussstelle (Bestückautomat). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .204
3.9.2 Pneumatische Anschlussstelle am Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .205
3.9.3 Elektrische und pneumatische Anschlussstelle am SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . .206
3.10 Bedienelemente am Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 207
3.10.1 Bedien- und Anzeigeelemente . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .207
3.10.2 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .208
3.10.3 Ergonomische Anordnung der Bedienelemente. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .209
3.10.3.1 Bedienelemente an den Bedienfeldern des Bestückautomaten. . . . . . . . . . . . . .210
3.10.3.2 Bedienelemente an der Ein- und Ausgabeseite des Bestückautomaten . . . . . . .210
3.11 Bedienelemente am SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 211
3.11.1 Bedien- und Anzeigeelemente . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .211
3.11.2 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .212
3.12 Portale. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 213
3.12.1 Lage der Portale des CA4-Automaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .213
3.12.2 Lage der Portale des CA3-Automaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .214
3.12.3 Aufbau der X-Achse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .215
3.12.4 Technische Daten der X-Achse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .216
3.12.5 Aufbau der Y-Achse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .217
3.12.6 Technische Daten der Y-Achse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .218