00195940-03-UM SiplaceCA-DE.pdf - 第8页

Inhalt Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie Ausgabe 08/2011 DE 8 3.7.8 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 177 3.8 Bestückköpfe . . . . . . . . .…

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Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie Inhalt
Ausgabe 08/2011 DE
7
3.4.4 Abstandsmaße der Maschinenfüße und der festen LP-Transportkanten. . . . . . . 130
3.4.4.1 Abstandsmaße der Maschinenfüße und der festen rechten Transportkante
des LP-Einfachtransports. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 130
3.4.4.2 Abstandsmaße der Maschinenfüße und der festen linken Transportkante
des LP-Einfachtransports. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 131
3.4.4.3 Abstandsmaße der Maschinenfüße und der festen rechten Transportkante
des LP-Doppeltransports . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 132
3.4.4.4 Abstandsmaße der Maschinenfüße und der festen linken Transportkante
des LP-Doppeltransports . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 133
3.4.5 Technische Daten - Abmessungen, Gewicht der Bestückautomaten . . . . . . . . . 134
3.4.6 Rangierabstand des BE-Wagens am CA4-Automaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 136
3.4.7 Rangierabstand des BE-Wagens am CA3-Automaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 137
3.4.8 Schwerpunkt der CA-Serien-Automaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 138
3.4.9 Schwerpunkt des SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 139
3.5 Linienkonzept. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 140
3.5.1 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 140
3.6 Baugruppenübersichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 142
3.6.1 Baugruppenübersicht SIPLACE CA4. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 142
3.6.2 Baugruppenübersicht SIPLACE CA3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 143
3.7 SIPLACE Wafer-System (SWS). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .144
3.7.1 Funktionsprinzip des SIPLACE Wafer-Systems (SWS). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 145
3.7.2 Grundfunktionen des SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 145
3.7.3 Basic-Die-Presentation-Prozess . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 146
3.7.3.1 Flip-Chip-Prozess. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 147
3.7.3.2 Die-Attach-Prozess . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 148
3.7.3.3 Die-Erkennung und -Positionierung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 149
3.7.3.4 Ausstechvorgang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 149
3.7.3.5 Pickup-Prozess . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 150
3.7.4 Pick & Transferprozess im Detail. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 150
3.7.4.1 Flip Chip Segment 1 (Pipette) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 150
3.7.4.2 Flip Chip Segment 1 (Z-Richtung) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 151
3.7.4.3 Die-Attach - Transferposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 152
3.7.4.4 Flip Chip codierte Positionen (nach dem Kalibrieren) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 153
3.7.5 Baugruppenübersichten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 156
3.7.6 Beschreibung der SWS-Baugruppen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 159
3.7.6.1 Versorgungseinheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 159
3.7.6.2 Flip-Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .160
3.7.6.3 Wafer-Kamera-System. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 162
3.7.6.4 Wafer-Tisch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 162
3.7.6.5 Die-Ejector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 166
3.7.6.6 Ausstech-Tool . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 168
3.7.6.7 Wafer-Wechsler-System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 169
3.7.7 Optionale Komponenten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 174
3.7.7.1 Linear-Dipping-Unit (LDU) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 174
3.7.7.2 Die-Attach-Unit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 175
3.7.7.3 Small-Die-Kit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 176
3.7.7.4 Wafer-Map-System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 176
3.7.7.5 Barcodescanner. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 176
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3.7.8 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .177
3.8 Bestückköpfe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 178
3.8.1 Bestückkopfkonfiguration am CA4-Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .178
3.8.2 Bestückkopfkonfiguration am CA3-Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .180
3.8.3 20-Segment-Collect&Place-CA-Kopf . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .181
3.8.3.1 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .183
3.8.3.2 Control- und Selflearning-Funktionen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .184
3.8.3.3 Funktionsbeschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .184
3.8.3.4 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .189
3.8.3.5 Sensor für den BE-Abwurfbehälter. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .189
3.8.4 12-Segment-Collect&Place-CA-Kopf . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .190
3.8.4.1 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .191
3.8.4.2 Control- und Selflearning-Funktionen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .192
3.8.4.3 Funktionsbeschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .193
3.8.4.4 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .194
3.8.5 6-Segment-Collect&Place-CA-Kopf . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .195
3.8.5.1 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .197
3.8.5.2 Control- und Selflearning-Funktionen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .197
3.8.5.3 Funktionsbeschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .197
3.8.5.4 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .199
3.8.6 SIPLACE TwinHead für hoch genaue IC-Bestückung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .200
3.8.6.1 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .201
3.8.6.2 Funktionsbeschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .201
3.8.6.3 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .203
3.9 Elektrische und pneumatische Anschlussstellen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 204
3.9.1 Elektrische Anschlussstelle (Bestückautomat). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .204
3.9.2 Pneumatische Anschlussstelle am Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .205
3.9.3 Elektrische und pneumatische Anschlussstelle am SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . .206
3.10 Bedienelemente am Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 207
3.10.1 Bedien- und Anzeigeelemente . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .207
3.10.2 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .208
3.10.3 Ergonomische Anordnung der Bedienelemente. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .209
3.10.3.1 Bedienelemente an den Bedienfeldern des Bestückautomaten. . . . . . . . . . . . . .210
3.10.3.2 Bedienelemente an der Ein- und Ausgabeseite des Bestückautomaten . . . . . . .210
3.11 Bedienelemente am SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 211
3.11.1 Bedien- und Anzeigeelemente . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .211
3.11.2 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .212
3.12 Portale. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 213
3.12.1 Lage der Portale des CA4-Automaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .213
3.12.2 Lage der Portale des CA3-Automaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .214
3.12.3 Aufbau der X-Achse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .215
3.12.4 Technische Daten der X-Achse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .216
3.12.5 Aufbau der Y-Achse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .217
3.12.6 Technische Daten der Y-Achse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .218
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3.13 Visionkameras . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 219
3.13.1 Montageposition der stationären Kameras - IC- und FC-Kamera . . . . . . . . . . . . 220
3.13.1.1 IC- und FC-Kameras am CA4-Automaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 220
3.13.1.2 IC- und FC-Kameras am CA3-Automaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 221
3.13.2 BE-Kamera C&P, Typ 23, 6 x 6, digital . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 222
3.13.2.1 Aufbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .222
3.13.2.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 222
3.13.3 BE-Kamera C&P, Typ 41, 6 x 6, digital . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 223
3.13.3.1 Aufbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .223
3.13.3.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 223
3.13.4 BE-Kamera C&P, Typ 29, 27 x 27, digital . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 224
3.13.4.1 Aufbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .224
3.13.4.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 224
3.13.5 BE-Kamera stationär P&P, Typ 33, 55 x 45, digital . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 225
3.13.5.1 Aufbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .225
3.13.5.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 225
3.13.6 LP-Kamera, Typ 34, digital. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 226
3.13.6.1 Aufbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .226
3.13.6.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 226
3.13.6.3 Passmarken-Kriterien. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 227
3.13.6.4 Inkpunkt-Kriterien. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 228
3.14 LP-Einfachtransport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 229
3.14.1 Aufbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 229
3.14.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 230
3.14.3 Funktionsbeschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 231
3.14.4 Leiterplattenwölbung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 231
3.14.4.1 LP-Wölbung während des Transports . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 232
3.14.4.2 LP-Wölbung beim Bestücken. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 233
3.15 Flexibler LP-Doppeltransport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 234
3.15.1 Aufbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 234
3.15.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 235
3.15.3 Funktionsbeschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 236
3.15.4 Leistungsmerkmal "Flexibler Doppeltransport" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 236
3.15.5 Definition der Transportspuren. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 236
3.15.6 Definition der Transportspurbreite . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 237
3.15.6.1 Standardbreite . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 237
3.15.6.2 Überbreite Transportspur. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 237
3.15.6.3 Doppeltransport im Modus "Einfachtransport" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 237
3.15.7 Transportarten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 237
3.15.7.1 Transportart asynchron . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 238
3.15.7.2 Transportart synchron . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 238
3.15.8 Steuerung des Doppeltransports mit dem Einzelfunktionenmenü . . . . . . . . . . . . 239
3.15.9 Automatische Breitenverstellung beim Doppeltransport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 239