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2 Betriebssicherheit Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 2.7 Sicherheitshinweise zum Betrieb des SWS Ausgabe 08/2011 DE 78 2.7 Sicherheit s hinweise zum Betrieb des SWS 2.7.1 Sicherheitshinweise zu Arbeiten am W afer-Tisc…
Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 2 Betriebssicherheit
Ausgabe 08/2011 DE 2.6 Sicherheitshinweise zum Betrieb des Bestückautomaten
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2.6.12 Hohe Temperaturen an den X-Zuführmodulen bei Dauerbetrieb
2
Abb. 2.6 - 9 Hohe Temperaturen an den X-Zuführmodulen bei Dauerbetrieb
(1) Temperatur-Hinweisschild [03031926-01]
(2) Schrittmotor
VORSICHT
HOHE TEMPERATUREN 2
Die Schrittmotore können bei Dauerbetrieb und einer Umgebungstemperatur größer 22°C hohe
Oberflächentemperaturen annehmen. Vorsicht beim Berühren der Motoren.
2 Betriebssicherheit Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
2.7 Sicherheitshinweise zum Betrieb des SWS Ausgabe 08/2011 DE
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2.7 Sicherheitshinweise zum Betrieb des SWS
2.7.1 Sicherheitshinweise zu Arbeiten am Wafer-Tisch
WARNUNG 2
QUETSCHGEFAHR FÜR HÄNDE
Greifen Sie nie mit der Hand durch den Schlitz im Magazin-Lift in Richtung Wafer-Tisch. Es kann
zu Quetschungen durch das Portal oder den Wafer-Tisch kommen.
2.7.2 Sicherheitshinweise zum Wechseln der Wafermagazine
WARNUNG 2
SCHWERE WAFERMAGAZINE
Ein volles Wafermagazin kann bis zu 25 kg wiegen. Hantieren Sie entsprechend vorsichtig mit
dem Wafermagazin. Ziehen Sie ggf. eine weitere Person hinzu.
VORSICHT 2
Achten Sie darauf, dass nichts aus dem Magazin-Lift herausragt.
Achten Sie darauf, dass nur das vorgesehende Wafer-Magazin ordnungsgemäß auf die Maga-
zin-Lift-Platte gestellt wird.
Bei unsachgemäßer Handhabung kann eine Beschädigung des Wafer-Magazin bzw. des Maga-
zin-Lifts nicht ausgeschlossen werden.
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Ausgabe 08/2011 DE 2.7 Sicherheitshinweise zum Betrieb des SWS
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2.7.3 Sicherheitshinweise zum Schließen der Schutzhaube
WARNUNG
QUETSCHGEFAHR FÜR HÄNDE BEIM SCHLIESSEN DER SCHUTZHAUBE
Fassen Sie zum Öffnen bzw. Schließen der Schiebetür diese grundsätzlich in die dafür vor-
gesehene Griffmulde.
Greifen Sie beim Schließen nicht in den Spalt zwischen Schiebetür und Maschinenverklei-
dung. Der Bereich ist mit einem gelb-schwarzen Warnstreifen gekennzeichnet.
– Die Schiebetür des SWS kann im Betrieb zum Tausch des Wafer-Magazins geöffnet werden
- das SWS produziert weiter. Das Öffnen der Türe setzt nur den Magazin-Lift außer Betrieb.
– Ein Öffnen der Haube versetzt das SWS in den Not-Aus-Status.
2.7.4 Sicherheitshinweise zur Linear-Dipping-Unit (LDU)
GEFAHR 2
GEFAHRENSTOFFE (FLUSSMITTEL)
Die Flussmittel der Linear-Dipping-Unit sind gesundheitsschädlich!
Beachten Sie unbedingt das dem Flussmittel beigefügte Sicherheitsdatenblatt (Material Safety
Datasheet - MSDS) und achten Sie darauf, dass die vorgeschriebenen Maßnahmen erfüllt wer-
den.
Tragen Sie beim Befüllen und beim Reinigen der LDU sowie beim Entsorgen der Flussmittel
stets die vorgeschriebene Schutzkleidung (z. B. Atemschutz, Handschuhe, Brille).