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Inhalt Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie Ausgabe 08/2011 DE 6 2.10 Sperren der Dr uckluftzufuhr und Dr uckabbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99 2.11 Energiezust and nach Au…

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Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie Inhalt
Ausgabe 08/2011 DE
5
2.6 Sicherheitshinweise zum Betrieb des Bestückautomaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
2.6.1 Sicherheitshinweise zum Schließen der Schutzhauben. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
2.6.2 Sicherheitshinweise für die Verarbeitung von Kondensatoren auf
Metallpulver-Basis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
2.6.3 Sicherheitshinweise zum Abziehen von Pipetten bei Collect&Place-CA-Köpfen. . 69
2.6.4 Sicherheitshinweise zum manuellen Verschieben der Z-Achse am TwinHead . . . 70
2.6.5 Sicherheitshinweise für die BE-Kameras des TwinHead bei einem
Bestückkopfwechsel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
2.6.6 Sicherheitshinweise zum An- und Abdocken des BE-Wagens . . . . . . . . . . . . . . . 72
2.6.7 Sicherheitshinweise zum Bewegen des BE-Wagens. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73
2.6.8 Sicherheitshinweise zum Leeren des Gurtabfallbehälters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73
2.6.9 Kollisionsgefahr des Abwurfbehälters mit dem BE-Sensor des C&P20 CA-
Bestückkopfes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74
2.6.10 Hinweis zur EGB-Sicherheit der Automaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75
2.6.11 Hohe Temperaturen am C&P20 CA-Bestückkopf bei Dauerbetrieb . . . . . . . . . . . 76
2.6.12 Hohe Temperaturen an den X-Zuführmodulen bei Dauerbetrieb. . . . . . . . . . . . . . 77
2.7 Sicherheitshinweise zum Betrieb des SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78
2.7.1 Sicherheitshinweise zu Arbeiten am Wafer-Tisch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78
2.7.2 Sicherheitshinweise zum Wechseln der Wafermagazine. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78
2.7.3 Sicherheitshinweise zum Schließen der Schutzhaube. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79
2.7.4 Sicherheitshinweise zur Linear-Dipping-Unit (LDU). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79
2.8 Sicherheitseinrichtungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80
2.8.1 Schutzhauben . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80
2.8.2 Schalter und Taster am Automaten und am SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82
2.8.2.1 Lage von Schaltern und Tastern am Automaten und am SWS . . . . . . . . . . . . . . . 82
2.8.2.2 Funktionsbeschreibung der Schalter und Taster am Automaten. . . . . . . . . . . . . . 84
2.8.2.3 Funktionsbeschreibung der Schalter und Taster am SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86
2.8.2.4 Lage von Schutzschaltern am Automaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88
2.8.3 Lage von Schützsicherheitskombination und Servicesteckdose . . . . . . . . . . . . . . 89
2.8.4 NOT-HALT-Schleifen und Meldekreis an SIPLACE und SWS. . . . . . . . . . . . . . . . 90
2.8.4.1 Aufbau der SIPLACE-NOT-HALT-Schleifen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
2.8.4.2 Aufbau des Meldekreises. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
2.8.4.3 Funktionsbeschreibung der SIPLACE-NOT-HALT-Schleifen. . . . . . . . . . . . . . . . . 92
2.8.4.4 Aufbau und Kontrolle der SWS-NOT-HALT-Schleifen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 94
2.8.4.5 Funktionsbeschreibung der SWS-NOT-HALT-Schleife . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 94
2.8.5 Eingreifschutz an den Stellplätzen des BE-Wagens, SIPLACE X-Serie . . . . . . . . 96
2.9 Restspannungen und Entladezeiten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 97
2.9.1 (Bestück-)Automat . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 97
2.9.1.1 Betriebsspannungen, Restspannungen und Entladezeiten nach Drücken
des NOT-HALT-Tasters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98
2.9.1.2 Restspannungen und Entladezeiten nach Ausschalten des Hauptschalters. . . . . 99
Inhalt Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
Ausgabe 08/2011 DE
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2.10 Sperren der Druckluftzufuhr und Druckabbau . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
2.11 Energiezustand nach Ausschalten des Hauptschalters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101
2.11.1 Hauptschalter am Bestückautomaten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .102
2.11.1.1 Hauptschalter ausgeschaltet - Automat am Netz angeklemmt. . . . . . . . . . . . . . .105
2.11.1.2 Hauptschalter ausgeschaltet - Automat vom Netz abgeklemmt. . . . . . . . . . . . . .109
2.11.1.3 Druckluftverhältnisse im Automaten nach Abschalten des Hauptschalters . . . . .109
2.11.2 Hauptschalter am SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .109
2.12 Verriegeln des Automaten und Anbringen von Warnschildern . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
2.12.1 Aufgabe und Zweck . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .109
2.12.2 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .110
2.12.3 Testen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .113
2.12.4 Verantwortung und Pflichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .113
2.12.5 Schulung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .114
2.12.6 Überprüfung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .114
2.13 EGB-Richtlinien . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 115
2.13.1 Was bedeutet EGB?. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .115
2.13.2 Wichtige Schutzmaßnahmen gegen statische Aufladung . . . . . . . . . . . . . . . . . .115
2.13.3 Handhabung von EGB-Baugruppen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .115
2.13.4 Messen und Ändern an EGB-Baugruppen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .116
2.13.5 Versenden von EGB-Baugruppen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .116
3 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .117
3.1 Leistungsdaten der SIPLACE CA . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 117
3.2 Bauelementebereitstellung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 121
3.3 Anschlusswerte der SIPLACE CA . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122
3.3.1 Elektrische Anschlusswerte . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .122
3.3.2 Druckluftversorgung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .122
3.3.3 Druckluftspezifikation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .123
3.3.4 Geräuschemissionsangabe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .123
3.3.5 Zulässige Umwelteinflüsse. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .123
3.4 Abmessungen und Gewicht der SIPLACE CA . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 124
3.4.1 Abmessungen des CA4-Automaten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .124
3.4.2 Abmessungen des CA3-Automaten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .127
3.4.3 Höhe der aufgeklappten Schutzhauben. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .129
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7
3.4.4 Abstandsmaße der Maschinenfüße und der festen LP-Transportkanten. . . . . . . 130
3.4.4.1 Abstandsmaße der Maschinenfüße und der festen rechten Transportkante
des LP-Einfachtransports. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 130
3.4.4.2 Abstandsmaße der Maschinenfüße und der festen linken Transportkante
des LP-Einfachtransports. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 131
3.4.4.3 Abstandsmaße der Maschinenfüße und der festen rechten Transportkante
des LP-Doppeltransports . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 132
3.4.4.4 Abstandsmaße der Maschinenfüße und der festen linken Transportkante
des LP-Doppeltransports . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 133
3.4.5 Technische Daten - Abmessungen, Gewicht der Bestückautomaten . . . . . . . . . 134
3.4.6 Rangierabstand des BE-Wagens am CA4-Automaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 136
3.4.7 Rangierabstand des BE-Wagens am CA3-Automaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 137
3.4.8 Schwerpunkt der CA-Serien-Automaten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 138
3.4.9 Schwerpunkt des SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 139
3.5 Linienkonzept. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 140
3.5.1 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 140
3.6 Baugruppenübersichten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 142
3.6.1 Baugruppenübersicht SIPLACE CA4. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 142
3.6.2 Baugruppenübersicht SIPLACE CA3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 143
3.7 SIPLACE Wafer-System (SWS). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .144
3.7.1 Funktionsprinzip des SIPLACE Wafer-Systems (SWS). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 145
3.7.2 Grundfunktionen des SWS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 145
3.7.3 Basic-Die-Presentation-Prozess . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 146
3.7.3.1 Flip-Chip-Prozess. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 147
3.7.3.2 Die-Attach-Prozess . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 148
3.7.3.3 Die-Erkennung und -Positionierung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 149
3.7.3.4 Ausstechvorgang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 149
3.7.3.5 Pickup-Prozess . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 150
3.7.4 Pick & Transferprozess im Detail. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 150
3.7.4.1 Flip Chip Segment 1 (Pipette) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 150
3.7.4.2 Flip Chip Segment 1 (Z-Richtung) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 151
3.7.4.3 Die-Attach - Transferposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 152
3.7.4.4 Flip Chip codierte Positionen (nach dem Kalibrieren) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 153
3.7.5 Baugruppenübersichten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 156
3.7.6 Beschreibung der SWS-Baugruppen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 159
3.7.6.1 Versorgungseinheit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 159
3.7.6.2 Flip-Unit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .160
3.7.6.3 Wafer-Kamera-System. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 162
3.7.6.4 Wafer-Tisch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 162
3.7.6.5 Die-Ejector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 166
3.7.6.6 Ausstech-Tool . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 168
3.7.6.7 Wafer-Wechsler-System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 169
3.7.7 Optionale Komponenten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 174
3.7.7.1 Linear-Dipping-Unit (LDU) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 174
3.7.7.2 Die-Attach-Unit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 175
3.7.7.3 Small-Die-Kit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 176
3.7.7.4 Wafer-Map-System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 176
3.7.7.5 Barcodescanner. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 176