M10M20_ServiceManual_c.pdf - 第32页
1．安装施工 1-18 搬出定序（标准规格） ① 在可搬出状态下， 如果 “来自后工序装置的搬送许可 （MACHINE NOT READY） ” 的输入处于 ON 状态时，将把搬送传送带变为 ON 状态。 ② 当基板到达出口传感器， 变为 ON 状态后， 如果基板通过变为 OFF 时， 将把搬 送传送带变为 OFF 状态。 ③ 当搬送传送带变为 ON 状态之后，如果在 10 秒钟之内出口传感器没有变为 ON 状态或者出口传感器在 ON …
1．安装施工 1-17
搬入定序（标准规格）
① 在可搬入状态下，将“向前工序装置的搬送许可（MACHINE NOT READY）”
的输出变为 ON 状态。
② 在“向前工序装置的搬送许可（MACHINE NOT READY）”的输出和入口传感
器都处于 ON 的状态下，将搬送传送带变为 ON 状态。
③ 在入口传感器处于 ON 的状态下，将“向前工序装置的搬送许可（MACHINE NOT
READY）”的输出变为 OFF 状态。
④ 在到达传感器处于 ON 的状态下，使搬送传送带变为 OFF 状态。
⑤ 当搬送传送带变为 ON 状态之后，如果在 10 秒钟之内到达传感器没有变为 ON
状态或者入口传感器没有变为 OFF 状态时，将会输出搬送错误。
⑥ 在错误发生后，通过按下 Start 按钮，将会继续实行错误前的动作。
(MACHINE NOT READY)
向前工序装置的
搬送许可
入口传感器
或者
入口传感器
(MACHINE NOT READY)
搬送许可
向前工序装置的
到达传感器
搬送传送带
1．安装施工 1-18
搬出定序（标准规格）
① 在可搬出状态下，如果“来自后工序装置的搬送许可（MACHINE NOT READY）”
的输入处于 ON 状态时，将把搬送传送带变为 ON 状态。
② 当基板到达出口传感器，变为 ON 状态后，如果基板通过变为 OFF 时，将把搬
送传送带变为 OFF 状态。
③ 当搬送传送带变为 ON 状态之后，如果在 10 秒钟之内出口传感器没有变为 ON
状态或者出口传感器在 ON 之后没有变为 OFF 状态时，将会输出搬送错误。
④ 在错误发生后，通过按下 Start 按钮，将会继续实行错误前的动作。
(MACHINE NOT READY)
搬送许可
来自后工序装置的
可搬出
来自后工序装置的
搬送许可
(MACHINE NOT READY)
或者
搬送传送带
可搬出
出口传感器
1．安装施工 1-19
搬入定序（SMEMA 对应规格）
① 在可搬入状态下，将“向前工序装置的搬送许可（MACHINE NOT READY）”
的输出变为 ON 状态。
② 在“向前工序装置的搬送许可（MACHINE NOT READY）”的输出、“来自前
工序装置的搬送要求（BOARD AVAILABLE）”的输入以及入口传感器全都处
于 ON 的状态下，将搬送传送带变为 ON 状态。
③ 在入口传感器处于 ON 的状态下，将“向前工序装置的搬送许可（MACHINE NOT
READY）”的输出变为 OFF 状态。
④ 在到达传感器处于 ON 的状态下，使搬送传送带变为 OFF 状态。
⑤ 在以下条件下，将会输出搬送错误。
※在“来自前工序装置的搬送要求”处于 OFF 的状态下，入口传感器处于 ON
状态时。
※在“来自前工序装置的搬送要求”以及“向前工序装置的搬送许可”都处于
ON 的状态下，如果 10 秒钟之内入口传感器没有变为 ON 状态时。
※将“向前工序装置的搬送许可”变为 OFF 之后，如果在 10 秒钟之内，“来
自前工序装置的搬送要求”没有变为 OFF 状态时。
⑥ 在错误发生后，通过按下 Start 按钮，将会继续实行错误前的动作。
(MACHINE NOT READY)
搬送许可
向前工序装置的
向前工序装置的
搬送许可
(MACHINE NOT READY)
来自前工序装置的
搬送要求
(BOARD AVAILABLE)
来自前工序装置的
或者
(BOARD AVAILABLE)
搬送要求
入口传感器
搬送传送带
到达传感器