M10M20_ServiceManual_c.pdf - 第34页
1．安装施工 1-20 搬出定序（SMEMA 对应规格） ① 在可搬出状态下，将“向后工 序装置的搬送要求（BOARD AVAILABLE）”的 输出变为 ON 状态。 ② “向后工序装置的搬送要求（ BOARD AVAILABLE）”的输出以及“来自后工 序装置的搬送许可（MACHINE NOT READY ）”的输入都处于 ON 状态时，搬 送传送带将变为 ON 状态。 ③ 当基板到达出口传感器， 变为 ON 状态后， 如果基板通过…
1．安装施工 1-19
搬入定序（SMEMA 对应规格）
① 在可搬入状态下，将“向前工序装置的搬送许可（MACHINE NOT READY）”
的输出变为 ON 状态。
② 在“向前工序装置的搬送许可（MACHINE NOT READY）”的输出、“来自前
工序装置的搬送要求（BOARD AVAILABLE）”的输入以及入口传感器全都处
于 ON 的状态下，将搬送传送带变为 ON 状态。
③ 在入口传感器处于 ON 的状态下，将“向前工序装置的搬送许可（MACHINE NOT
READY）”的输出变为 OFF 状态。
④ 在到达传感器处于 ON 的状态下，使搬送传送带变为 OFF 状态。
⑤ 在以下条件下，将会输出搬送错误。
※在“来自前工序装置的搬送要求”处于 OFF 的状态下，入口传感器处于 ON
状态时。
※在“来自前工序装置的搬送要求”以及“向前工序装置的搬送许可”都处于
ON 的状态下，如果 10 秒钟之内入口传感器没有变为 ON 状态时。
※将“向前工序装置的搬送许可”变为 OFF 之后，如果在 10 秒钟之内，“来
自前工序装置的搬送要求”没有变为 OFF 状态时。
⑥ 在错误发生后，通过按下 Start 按钮，将会继续实行错误前的动作。
(MACHINE NOT READY)
搬送许可
向前工序装置的
向前工序装置的
搬送许可
(MACHINE NOT READY)
来自前工序装置的
搬送要求
(BOARD AVAILABLE)
来自前工序装置的
或者
(BOARD AVAILABLE)
搬送要求
入口传感器
搬送传送带
到达传感器
1．安装施工 1-20
搬出定序（SMEMA 对应规格）
① 在可搬出状态下，将“向后工序装置的搬送要求（BOARD AVAILABLE）”的
输出变为 ON 状态。
② “向后工序装置的搬送要求（BOARD AVAILABLE）”的输出以及“来自后工
序装置的搬送许可（MACHINE NOT READY）”的输入都处于 ON 状态时，搬
送传送带将变为 ON 状态。
③ 当基板到达出口传感器，变为 ON 状态后，如果基板通过变为 OFF 时，将把“向
后工序装置的搬送要求（BOARD AVAILABLE）”的输出以及搬送传送带变为
OFF 状态。
④ 当搬送传送带变为 ON 状态之后，如果在 10 秒钟之内“来自后工序装置的搬
送许可（MACHINE NOT READY）”的输入没有变为 OFF 状态时，将会输出搬
送错误。
⑤ 在错误发生后，通过按下 Start 按钮，将会继续实行错误前的动作。
或者
来自后工序装置的
搬送许可
(MACHINE NOT READY)
来自后工序装置的
搬送许可
(MACHINE NOT READY)
可搬出
(BOARD AVAILABLE)
搬送要求
向后工序装置的
可搬出
(BOARD AVAILABLE)
搬送要求
向后工序装置的
出口传感器
搬送传送带
2．点检
2-1
2 点检