SM481(L)_Administrator's guide (Chi_Ver6.1).pdf.pdf - 第391页
14-37 Machine Calibration 13. 完成所有示教 后请点击 <Update> 按钮适用变更事 项。 F3_Ref#1 F3_Ref#2
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Fast Flexible Placer SM481(L) Administrator’s Guide
11. 对所选Station的Fiducial Mark完成示教，则用同样的方法对其他Fiducial Mark
执行示教。
12. 2到12号的过程各Station要单独执行，请按如下的顺序执行：StationF1 ->
StationF2 → StationF1 →StationF3
F1_Ref#2
F2_Ref#1
F2_Ref#2
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Machine Calibration
13. 完成所有示教后请点击<Update>按钮适用变更事项。
F3_Ref#1
F3_Ref#2
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Fast Flexible Placer SM481(L) Administrator’s Guide
14.3.5. X-XY Compensation
为了补偿X轴移动时发生的XY误差而执行。如果Thermal Mapping及 Gantry
Mapping已被激活时，为了执行X-XY Compensation强制性的让Mapping处于非激活
(Disable)状态。
注 意 X-XY Compensation在设备出厂之前在工厂执行。为了执行此
过程必须需要专用校正 Tool。
一般情况下此过程为进行Skip 后，请执行后续过程的校正。
图
14.12 “X-XY Compensation”
对话框
Mode 选项 按钮
选择执行相应过程的模式。
<校正> 选项 按钮
以校正模式执行X-XY Compensation后反应其结果值。
<测量> 选项 按钮
以测定模式执行X-XY Compensation后不反应结果值。为测定Y轴故障时选
择。
<双悬臂> 组合框
臂1:在StationF2中用 校正 Tool 进行校正时，
<坐标轴> 组合框